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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-08-08 10:55 埋め込み型STJの作製と特性に関する評価 ○森田浩平・松本 功（埼玉大）・青柳昌宏（産総研）・成瀬雅人・明連広昭・田井野 徹（埼玉大）  SCE2016-13 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2016-13 |
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| 抄録 | （和） | 超伝導トンネル接合(STJ)は高エネルギー分解能を有する次世代のフォトン検出器、例えば材料分析など、高い精度で分析できる。我々は、通常のSTJと異なる、3次元実装構造を有する埋め込み型STJ(e-STJ)を提案している。e-STJは、STJをSi基板内に埋め込むため、サブギャップ電流の低減が難しい。そこでe-STJを用いて良好な電気的特性を得るため、e-STJ用の新しい作製方法を提案した。作製プロセスでクロロベンゼンを使用することでe-STJのサブギャップ電流の低減に成功した。 |
| （英） | Superconducting tunnel junction (STJ) is a candidate next generation photon detector because of its high energy resolution. We have proposed and demonstrated an embedded STJ (e-STJ) using 3D integration technique for the photon detector with large detection area. Since the e-STJ is embedded in a Si substrate, it is difficult to realize the characteristics of low sub-gap current. To achieve good characteristics, we focused on the embedded hole. In the hole, there were some unevennesses on the sidewall of the hole. So we proposed a new fabrication method for the e-STJ. In the method, we use chlorobenzene at the fabrication process. The fabricated e-STJ showed reduction of the sub-gap current by new method. | |
| キーワード | （和） | 超伝導トンネル接合(STJ) / 埋め込み型STJ(e-STJ) / / / / / / |
| （英） | Superconducting tunnel junction (STJ) / embedded STJ (e-STJ) / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 175, SCE2016-13, pp. 9-12, 2016年8月. | |
| 資料番号 | SCE2016-13 | |
| 発行日 | 2016-08-01 (SCE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2016-13 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2016-13 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2016-08-08 - 2016-08-09 |
| 開催地（和） | 埼玉大(大宮ソニックシティ） |
| 開催地（英） | Saitama Univ. (Omiya sonic city) |
| テーマ（和） | 検出器・SQUID、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2016-08-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 埋め込み型STJの作製と特性に関する評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improvement of fabrication and characterization for embedded STJ |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導トンネル接合(STJ) / Superconducting tunnel junction (STJ) |
| キーワード(2)（和/英） | 埋め込み型STJ(e-STJ) / embedded STJ (e-STJ) |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森田 浩平 / Morita Kohei / モリタ コウヘイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 功 / Matsumoto Isao / マツモト イサオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 青柳 昌宏 / Aoyagi Masahiro / アオヤギ マサヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 成瀬 雅人 / Naruse Masato / ナルセ マサト |
| 第4著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 明連 広昭 / Myoren Hiroaki / ミョウレン ヒロアキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田井野 徹 / Taino Tohru / タイノ トオル |
| 第6著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-08-08 10:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2016-13 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.175 |
| ページ範囲 | pp.9-12 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-08-01 (SCE) |
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