講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-10-25 14:40
シリコンフィールドエミッタの光応答性の評価(その2) ○嶋脇秀隆(八戸工大)・長尾昌善(産総研)・根尾陽一郎・三村秀典(静岡大)・若家冨士男・高井幹夫(阪大) ED2016-46 エレソ技報アーカイブへのリンク: ED2016-46 |
抄録 |
(和) |
p型シリコンフィールドエミッタにバンドギャップ以上の光を照射するとエミッション電流が増大する。この特性を利用すると光パルス照射により変調電子ビームを発生させることができる。光応答性を高めるためには、空乏層外での光電子を抑制する必要があるため、極微ゲート孔のボルケーノ構造シリコンエミッタアレイを作製し、光応答性を評価した。 |
(英) |
We have fabricated silicon field emitter arrays with submicron gate opening by using etch-back technique and investigated the emission characteristics and photoresponse of the devices under irradiation of laser pulses. The current pulses from the device with the same response of the laser pulse have been observed. |
キーワード |
(和) |
シリコンフィールドエミッタアレイ / 光支援電界電子放出 / 変調電子ビーム / ボルケーノ構造 / / / / |
(英) |
silicon field emitter array / photoassisted electron emission / modulated electron beam / volcano structure / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 268, ED2016-46, pp. 13-15, 2016年10月. |
資料番号 |
ED2016-46 |
発行日 |
2016-10-18 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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