講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-10-26 10:20
コロジオンに分散させた二酸化パラジウムを貴金属供給源とするナノ電子源の作製 ○浅井泰尊・熊谷成輝・村田英一・六田英治(名城大) ED2016-53 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2016-53 |
抄録 |
(和) |
貴金属で被覆されたタングステン(W)の原子スケールのピラミッドを,タングステン(W)針の先端に自発的に成長させることができる。今回は,コロジオンに分散させた二酸化パラジウム(PdO2)の粉末を多結晶W針後方に塗布することで貴金属供給源とし,ナノピラミッド成長を試みた。超高真空中での1000 K の加熱の後,FIMは,15量体の先端と単原子鎖の尾根を持つナノピラミッドの形成を示した。しかし,さらに加熱を続けても単原子先端は得られず,むしろ広いテラスの先端と数原子の幅を持った稜線を持った構造に変化してしまった。これは,W針後方に塗布するPdO2の量やコロジオンに分散させる濃度といった条件を特定できておらず,W針先端に過剰な量のPdが供給されてしまったためだと考えている。 |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
微小電子源 / 表面拡散 / 電界電子放出 / 電界放射顕微鏡 / 電界イオン顕微鏡 / タングステン / パラジウム / |
(英) |
nano emitter / surface diffusion / field emission / field emission microscopy / field ion microscopy / tungsten / palladium / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 268, ED2016-53, pp. 47-50, 2016年10月. |
資料番号 |
ED2016-53 |
発行日 |
2016-10-18 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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