講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-12-09 10:55
Fe-Co-B合金薄膜の構造と磁気特性に及ぼすB組成と膜形成温度の影響 ○芹澤伽那・落合亮真・中村将大(中大)・大竹 充(工学院大/中大)・二本正昭(中大)・桐野文良(東京藝術大)・稲葉信幸(山形大) MR2016-39 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2016-39 |
抄録 |
(和) |
40 nm厚の(Fe0.7Co0.3)100–xBx(x = 5, 10, 15 at. %)合金膜を基板温度を室温から600 Cの範囲で変化させてMgO(001)基板上に形成した.反射高速電子回折装置,X線回折装置,原子力間顕微鏡,および試料振動型磁力計による測定を行い,形成基板温度とB組成が構造と磁気特性に及ぼす影響を系統的に調べた.B組成が5 at.%では200 °C以上,10 at.%では400 C以上,15 at.%では 600 °Cの基板温度の条件でエピタキシャル成長することが分かった.B組成の増加,基板温度の低下によって,単結晶,多結晶,非晶質に膜構造が変化する傾向が見られた.これにより,構造は形成条件によってbcc(001)単結晶,bcc(001)結晶とbcc(122)結晶の混在結晶,多結晶,アモルファスの4種類に分類された.また,基板温度の上昇に伴って表面起伏が増加する傾向が認められた.島状の起伏が形成された膜においては,磁壁の移動が妨げられ保磁力が増加した |
(英) |
Fe-Co-B alloy films of 40 nm thickness are prepared on MgO(001) single-crystal substrates using alloy targets of (Fe0.7Co0.3)100–xBx(x = 5, 10, 15 at. %)by varying the substrate temperature from room temperature to 600 C. The effects of B composition and deposition substrate temperature on the crystallographic and the magnetic properties are investigated by reflection high-energy electron diffraction, X-ray diffraction, atomic force microscopy, and vibrating sample magnetometry. (Fe0.7Co0.3)100–xBx(x = 5, 10, 15 at. %)films with bcc structure grow epitaxially on MgO substrates at temperature regions of 200–600 °C, 400–600 °C, and 600 °C, respectively. The structure of Fe-Co-B alloy film changes from bcc(001) single-crystal to amorphous with increasing B content and decreasing substrate temperature. The structures of Fe-Co-B alloy films on MgO(001) substrate are classified into four structure types, bcc(001) single-crystal, mixed structure of bcc(001) and bcc(122) crystals, polycrystal, and amorphous. The coercivity increases with increasing the substrate temperature. |
キーワード |
(和) |
Fe-Co-B合金 / 薄膜 / エピタキシャル成長 / 軟磁性 / / / / |
(英) |
Fe-Co-B alloy / thin film / epitaxial growth / soft magnetic properties / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, 2016年12月. |
資料番号 |
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発行日 |
2016-12-01 (MR) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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