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講演抄録/キーワード
講演名 2016-12-09 10:55
Fe-Co-B合金薄膜の構造と磁気特性に及ぼすB組成と膜形成温度の影響
芹澤伽那落合亮真中村将大中大)・大竹 充工学院大/中大)・二本正昭中大)・桐野文良東京藝術大)・稲葉信幸山形大MR2016-39 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2016-39
抄録 (和) 40 nm厚の(Fe0.7Co0.3)100–xBx(x = 5, 10, 15 at. %)合金膜を基板温度を室温から600 Cの範囲で変化させてMgO(001)基板上に形成した.反射高速電子回折装置,X線回折装置,原子力間顕微鏡,および試料振動型磁力計による測定を行い,形成基板温度とB組成が構造と磁気特性に及ぼす影響を系統的に調べた.B組成が5 at.%では200 °C以上,10 at.%では400 C以上,15 at.%では 600 °Cの基板温度の条件でエピタキシャル成長することが分かった.B組成の増加,基板温度の低下によって,単結晶,多結晶,非晶質に膜構造が変化する傾向が見られた.これにより,構造は形成条件によってbcc(001)単結晶,bcc(001)結晶とbcc(122)結晶の混在結晶,多結晶,アモルファスの4種類に分類された.また,基板温度の上昇に伴って表面起伏が増加する傾向が認められた.島状の起伏が形成された膜においては,磁壁の移動が妨げられ保磁力が増加した 
(英) Fe-Co-B alloy films of 40 nm thickness are prepared on MgO(001) single-crystal substrates using alloy targets of (Fe0.7Co0.3)100–xBx(x = 5, 10, 15 at. %)by varying the substrate temperature from room temperature to 600 C. The effects of B composition and deposition substrate temperature on the crystallographic and the magnetic properties are investigated by reflection high-energy electron diffraction, X-ray diffraction, atomic force microscopy, and vibrating sample magnetometry. (Fe0.7Co0.3)100–xBx(x = 5, 10, 15 at. %)films with bcc structure grow epitaxially on MgO substrates at temperature regions of 200–600 °C, 400–600 °C, and 600 °C, respectively. The structure of Fe-Co-B alloy film changes from bcc(001) single-crystal to amorphous with increasing B content and decreasing substrate temperature. The structures of Fe-Co-B alloy films on MgO(001) substrate are classified into four structure types, bcc(001) single-crystal, mixed structure of bcc(001) and bcc(122) crystals, polycrystal, and amorphous. The coercivity increases with increasing the substrate temperature.
キーワード (和) Fe-Co-B合金 / 薄膜 / エピタキシャル成長 / 軟磁性 / / / /  
(英) Fe-Co-B alloy / thin film / epitaxial growth / soft magnetic properties / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, 2016年12月.
資料番号  
発行日 2016-12-01 (MR) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード MR2016-39 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2016-39

研究会情報
研究会 MRIS ITE-MMS  
開催期間 2016-12-08 - 2016-12-09 
開催地(和) 愛媛大学 
開催地(英) Ehime Univ. 
テーマ(和) 信号処理,一般 
テーマ(英) Signal Processing, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MRIS 
会議コード 2016-12-MR-MMS 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) Fe-Co-B合金薄膜の構造と磁気特性に及ぼすB組成と膜形成温度の影響 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Influence of B Composition and Deposition Temperature on the Structural and Magnetic Properties of Fe-Co-B Alloy Thin Films 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Fe-Co-B合金 / Fe-Co-B alloy  
キーワード(2)(和/英) 薄膜 / thin film  
キーワード(3)(和/英) エピタキシャル成長 / epitaxial growth  
キーワード(4)(和/英) 軟磁性 / soft magnetic properties  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 芹澤 伽那 / Kana Serizawa / セリザワ カナ
第1著者 所属(和/英) 中央大学 (略称: 中大)
Chuo University (略称: Chuo Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 落合 亮真 / Ryoma Ochiai / オチアイ リョウマ
第2著者 所属(和/英) 中央大学 (略称: 中大)
Chuo University (略称: Chuo Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 中村 将大 / Masahiro Nakamura / ナカムラ マサヒロ
第3著者 所属(和/英) 中央大学 (略称: 中大)
Chuo University (略称: Chuo Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 大竹 充 / Mitsuru Ohtake / オオタケ ミツル
第4著者 所属(和/英) 工学院大学/中央大学 (略称: 工学院大/中大)
Kogakuin University/Chuo University (略称: Kogakuin Univ./Chuo Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 二本 正昭 / Masaaki Futamoto / フタモト マサアキ
第5著者 所属(和/英) 中央大学 (略称: 中大)
Chuo University (略称: Chuo Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 桐野 文良 / Fumiyoshi Kirino / キリノ フミヨシ
第6著者 所属(和/英) 東京藝術大学 (略称: 東京藝術大)
Tokyo University of the Arts (略称: Tokyo Univ. Arts)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 稲葉 信幸 / Nobuyuki Inaba / イナバ ノブユキ
第7著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2016-12-09 10:55:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 MRIS 
資料番号 MR2016-39 
巻番号(vol) vol.116 
号番号(no) no.348 
ページ範囲 pp.57-62 
ページ数
発行日 2016-12-01 (MR) 


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