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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-12-12 14:40 ラマン散乱分光法および赤外反射分光法によるGaN自立基板の評価 ○鐘ヶ江一孝・金子光顕・木本恒暢・堀田昌宏・須田 淳（京大）  ED2016-61 CPM2016-94 LQE2016-77 |
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| 抄録 | （和） | 1016～1020 cm-3の範囲でドーピングされたn型GaN自立基板に対してラマン散乱分光および赤外反射分光を行った。自由キャリアのプラズマ振動と縦光学格子振動との結合モードを測定し、得られたスペクトルを誘電関数モデルに基づく理論曲線でフィッティングすることにより、キャリア密度と移動度を求めた。求めた結果をホール効果測定による実測値と比較し妥当性を検証した。その結果、ラマン散乱分光法は1016～1018 cm-3の範囲で、赤外反射分光法は1018～1020 cm-3の範囲で精度よく評価が行えることが明らかになった。 |
| （英） | Raman scattering spectroscopy and infrared reflectance spectroscopy were performed on GaN free-standing substrates with various doping concentrations in the range of 1016～1020 cm-3. By fitting the observed spectra of LO-phonon-plasmon coupled mode with the theoretical curves using the dielectric function model, the carrier concentrations and the mobilities were obtained. The optically determined carrier concentration and mobility were compared with those measured by Hall-effect measurement. | |
| キーワード | （和） | GaN自立基板 / 赤外反射分光法 / ラマン散乱分光法 / / / / / |
| （英） | Free-Standing GaN substrate / Infrared Reflectance Spectroscopy / Raman Scattering Spectroscopy / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 356, ED2016-61, pp. 21-26, 2016年12月. | |
| 資料番号 | ED2016-61 | |
| 発行日 | 2016-12-05 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2016-61 CPM2016-94 LQE2016-77 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM LQE ED |
| 開催期間 | 2016-12-12 - 2016-12-13 |
| 開催地（和） | 京大桂キャンパス |
| 開催地（英） | Kyoto University |
| テーマ（和） | 窒化物半導体・光電子デバイス・材料、関連技術及び一般 |
| テーマ（英） | Nitride semiconductors, optoelectronic devices, and related materials |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2016-12-CPM-LQE-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ラマン散乱分光法および赤外反射分光法によるGaN自立基板の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of Free-Standing GaN Bulk Substrates by Raman Scattering Spectroscopy and Infrared Reflectance Spectroscopy |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN自立基板 / Free-Standing GaN substrate |
| キーワード(2)（和/英） | 赤外反射分光法 / Infrared Reflectance Spectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | ラマン散乱分光法 / Raman Scattering Spectroscopy |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鐘ヶ江 一孝 / Kazutaka Kanegae / カネガエ カズタカ |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金子 光顕 / Mitsuaki Kaneko / カネコ ミツアキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木本 恒暢 / Tsunenobu Kimoto / キモト ツネノブ |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 堀田 昌宏 / Masahiro Horita / ホリタ マサヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須田 淳 / Jun Suda / スダ ジュン |
| 第5著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-12-12 14:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2016-61, CPM2016-94, LQE2016-77 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.356(ED), no.357(CPM), no.358(LQE) |
| ページ範囲 | pp.21-26 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-12-05 (ED, CPM, LQE) |
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