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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-01-19 15:25 Au 2次元回折格子構造による光学素子の作製と光学特性評価 ○山田泰士・元垣内敦司・三宅秀人・平松和政（三重大）  PN2016-82 EMT2016-111 OPE2016-157 LQE2016-146 EST2016-121 MWP2016-95 |
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| 抄録 | （和） | Au 2次元回折格子構造を使った光学ミラーの実現のために、電子線リソグラフィ技術とリフトオフ工程を利用して作製し、光学特性評価を行った．その結果，リフトオフ工程を省略して作製できる2層型Au 2次元回折格子において，可視光全体で金とレジスト界面における吸収によって反射率の減少が見られた．また、1層型Au 2次元回折格子において、特定の波長域で反射率の極大ピークが見られ、狭帯域ミラーとしての利用が可能である波長域が存在することを明らかにした． |
| （英） | For the realization of the optical mirror, we fabricated the Au two-dimensional diffraction grating using an electron beam lithography technology and a liftoff process and evaluated an optical characterization. As the result, in the double-layer the Au two-dimensional diffraction grating which we omitted a liftoff process and could make, a decrease in reflectance was shown by the absorption in the Au and the resist interface in the whole visible light. On the other hand in the single-layer Au two-dimensional diffraction grating, a greatest peak of the reflectance was seen in specific wavelength area. From these results, it is found the wavelength range can be applied to optical mirror by this structure. | |
| キーワード | （和） | Au 2次元回折格子 / 光学ミラー / 反射率 / 透過率 / / / / |
| （英） | 2D Au grating / Optical Mirror / Reflectance / Transmittance / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 388, OPE2016-157, pp. 269-272, 2017年1月. | |
| 資料番号 | OPE2016-157 | |
| 発行日 | 2017-01-11 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | PN2016-82 EMT2016-111 OPE2016-157 LQE2016-146 EST2016-121 MWP2016-95 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE EST LQE EMT PN MWP IEE-EMT |
| 開催期間 | 2017-01-18 - 2017-01-19 |
| 開催地（和） | 伊勢市観光文化会館 |
| 開催地（英） | Iseshi Kanko Bunka Kaikan |
| テーマ（和） | フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバーとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、マイクロ波・ミリ波フォトニクス、及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2017-01-OPE-EST-LQE-EMT-PN-MWP-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Au 2次元回折格子構造による光学素子の作製と光学特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and optical characterization of the optical element by the Au two-dimensional diffraction grating structure |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Au 2次元回折格子 / 2D Au grating |
| キーワード(2)（和/英） | 光学ミラー / Optical Mirror |
| キーワード(3)（和/英） | 反射率 / Reflectance |
| キーワード(4)（和/英） | 透過率 / Transmittance |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 泰士 / Taishi Yamada / ヤマダ タイシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 元垣内 敦司 / Atsushi Motogaito / モトガイト アツシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三宅 秀人 / Hideto Miyake / ミヤケ ヒデト |
| 第3著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平松 和政 / Kazumasa Hiramatsu / |
| 第4著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-01-19 15:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | PN2016-82, EMT2016-111, OPE2016-157, LQE2016-146, EST2016-121, MWP2016-95 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.386(PN), no.387(EMT), no.388(OPE), no.389(LQE), no.390(EST), no.391(MWP) |
| ページ範囲 | pp.269-272 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-01-11 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) |
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