| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2017-04-20 16:15
プラズマ法による凸版反転印刷電極の表面処理と有機トランジスタ特性評価 ○圓岡 岳・竹田泰典(山形大)・岡本朋子・片山嘉則(DIC)・福田 貴(東ソー)・熊木大介・松井弘之・泉 小波・時任静士(山形大) ED2017-7 |
| 抄録 |
(和) |
印刷法による高精細な電極を形成する技術は、有機トランジスタのさらなる高性能化に加え、センシングデバイスや有機無線タグの実現に向けた、高集積化を実現するための重要な基盤技術である。凸版反転印刷法は常温において銀電極などをサブミクロンの線間隔でパターニングが可能である。しかし、良好な印刷性能を有する金属ナノ粒子インクを用いる場合、電極焼成後、インク由来の保護基や界面活性剤等の有機物が電極表面上に残留し、良好な電気特性を得られないという課題があった。本研究では凸版反転印刷法により形成した電極を有する有機トランジスタの電気的特性の向上を目的とし、N2プラズマ処理によって表面残留物を取り除き、プラズマ処理の有効性を電極表面分析およびトランジスタ特性評価により調べた。電極表面にプラズマ処理を行うことにより、飽和領域の移動度は0.0036から1.1 cm2/Vsへ、On/Off比は10の5乗から10の8乗へと大幅に向上した。 |
| (英) |
Printing high resolution electrodes is an important technology for realizing the high integration of sensing devices and organic radio-frequency tags as well as for further improving the performance of organic transistors. Reverse-offset printing method can form fine patterns of functional materials such as silver nanoparticles with a submicrometer line spacing at room temperature. However, the silver nanoparticle inks for the reverse-offset printing usually contain organic additives such as dispersive agents and surfactants, which degrade their electric performances. In this research, we aimed at improving the electrical characteristics of the organic transistors with the reverse-offset-printed electrodes by nitrogen plasma treatment. The effect of the plasma irradiation was evaluated by the surface analyses of the electrodes and the measurement of transistor characteristics. By irradiating the plasma on the printed silver electrodes, the mobility in the saturated region was improved from 3.6 × 10^ -3 to 1.1 cm2 / Vs by three orders of magnitude, and the on / off ratio was improved from 10^5 to 10^8. |
| キーワード |
(和) |
凸版反転印刷法 / プラズマ表面処理 / 有機トランジスタ / / / / / |
| (英) |
reverse-offset printing / nitrogen plasma treatment / organic thin-film transistors / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 6, ED2017-7, pp. 25-28, 2017年4月. |
| 資料番号 |
ED2017-7 |
| 発行日 |
2017-04-13 (ED) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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ED2017-7 |