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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-10-05 11:40 NbTiN超薄膜の評価とナノ構造熱援用デバイスへの応用 ○佐野京佑・鈴木雅斗・丸山晃平・田中雅光・藤巻 朗（名大）・井上真澄（名城大）  SCE2017-30 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2017-30 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 223, SCE2017-30, pp. 47-52, 2017年10月. | |
| 資料番号 | SCE2017-30 | |
| 発行日 | 2017-09-27 (SCE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2017-30 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2017-30 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2017-10-04 - 2017-10-05 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 検出基盤技術及び応用、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2017-10-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | NbTiN超薄膜の評価とナノ構造熱援用デバイスへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of NbTiN ultra thin film and application to the thermally-assisted nanostructure device |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(4)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐野 京佑 / Kyosuke Sano / サノ キョウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅斗 / Masato Suzuki / スズキ マサト |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 丸山 晃平 / Kohei Maruyama / マルヤマ コウヘイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 雅光 / Masamitsu Tanaka / タナカ マサミツ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤巻 朗 / Akira Fujimaki / フジマキ アキラ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井上 真澄 / Masumi Inoue / イノウエ マスミ |
| 第6著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 1 |
| 発表日時 | 2017-10-05 11:40:00 |
| 発表時間 | 25 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2017-30 |
| 巻番号（vol） | 117 |
| 号番号（no） | no.223 |
| ページ範囲 | pp.47-52 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-09-27 (SCE) |
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