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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-10-06 16:15 多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討 ○工藤博章・羽山優介・松本哲也（名大）・沓掛健太朗（東北大）・宇佐美徳隆（名大）  IMQ2017-19 |
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| 抄録 | （和） | 近年，多結晶シリコンウェハの組織制御が着目されている．本報告では多結晶シリコンウェハのPL像を用い，転位を含んだ領域を特定する方法について検討した．スパースコーディングにより画像を再構成する手法を用い，転位を含む領域で再構成誤差が大きくなること，暗い領域であることを前提とした．スパースコーディングに用いる基底は，独立成分分析の混合行列によるものとした．ROC曲線による解析による再構成誤差についての振る舞いから，提案手法の性能について確認することができた． |
| （英） | Increasing attention has been focused on a structure control of multicrystalline silicon wafers. In this report, we studied a specified method of regions including dislocations in a photoluminescence (PL) image of such wafers. We utilized a method based on a sparse coding algorithm which reconstructed the image. We assumed regions of dislocations caused large represent errors and presented darker colors. A mixture matrix of independent component analysis (ICA) for the original image was used as bases of a sparse coding. From characteristics of represented errors of an analysis of ROC curves, we confirmed performances of the proposed method. | |
| キーワード | （和） | 多結晶シリコン / PL像 / 転位 / スパースコーディング / / / / |
| （英） | multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation / sparse coding / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 229, IMQ2017-19, pp. 29-34, 2017年10月. | |
| 資料番号 | IMQ2017-19 | |
| 発行日 | 2017-09-29 (IMQ) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | IMQ2017-19 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | IMQ |
| 開催期間 | 2017-10-06 - 2017-10-06 |
| 開催地（和） | 神戸大学 |
| 開催地（英） | Kobe Univesity |
| テーマ（和） | 画像処理とIMQ一般 |
| テーマ（英） | Image Processing, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | IMQ |
| 会議コード | 2017-10-IMQ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A study of estimation by sparse coding of dislocation regions in photoluminescence image of multicrystalline silicon |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 多結晶シリコン / multicrystalline silicon |
| キーワード(2)（和/英） | PL像 / photoluminescence image |
| キーワード(3)（和/英） | 転位 / dislocation |
| キーワード(4)（和/英） | スパースコーディング / sparse coding |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 博章 / Hiroaki Kudo / クドウ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 羽山 優介 / Yusuke Hayama / ハヤマ ユウスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto / マツモト テツヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami / ウサミ ノリタカ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-10-06 16:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | IMQ |
| 資料番号 | IMQ2017-19 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.229 |
| ページ範囲 | pp.29-34 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-09-29 (IMQ) |
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