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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-10-26 13:30 スクライブ上モニタパタンのシート抵抗測定によるイメージセンサの空乏化電位管理について ○後藤洋太郎（ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング）・山口 直・松浦正純（ルネサス エレクトロニクス）・飯塚康治（ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング）  SDM2017-59 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2017-59 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 260, SDM2017-59, pp. 51-55, 2017年10月. | |
| 資料番号 | SDM2017-59 | |
| 発行日 | 2017-10-18 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2017-59 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2017-59 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2017-10-25 - 2017-10-26 |
| 開催地（和） | 東北大学未来研 |
| 開催地（英） | Niche, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2017-10-SDM |
| 本文の言語 | 英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） | スクライブ上モニタパタンのシート抵抗測定によるイメージセンサの空乏化電位管理について |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Pinning Voltage Control of CMOS Image Sensor by measuring sheet resistance at micro test structure in scribe line |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 後藤 洋太郎 / Yotaro Goto / ゴトウ ヨウタロウ |
| 第1著者 所属（和/英） | ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング (略称： ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング) Renesas Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (略称： RSMC) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山口 直 / Tadasihi Yamaguchi / ヤマグチ タダシ |
| 第2著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Electronics (略称： REL) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 正純 / Masazumi Matsuura / マツウラ マサズミ |
| 第3著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Electronics (略称： REL) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 飯塚 康治 / Koji Iizuka / イイズカ コウジ |
| 第4著者 所属（和/英） | ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング (略称： ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング) Renesas Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (略称： RSMC) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-10-26 13:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2017-59 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.260 |
| ページ範囲 | pp.51-55 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2017-10-18 (SDM) |
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