講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-10-26 16:20
炭化タングステンを用いた低仕事関数電界放射陰極に関する研究 ○山梨遼太郎・根尾陽一郎・三村秀典(静岡大) ED2017-42 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-42 |
抄録 |
(和) |
走査型電子顕微鏡(SEM)において高輝度カソードとして広く用いられているタングステン電界放射陰極(W-FE)は,高価であることと定期的なフラッシングを必要とするために先端形状の変化によって寿命が減少するため取扱が複雑であるという欠点を持っている.
そこで,我々はより優れたカソードを安価で簡便に製造することを目標に炭化タングステンを用いたカソードについて研究を行ってきた.本報告では,炭化タングステンの作成過程,炭化前後におけるI-V特性の変化,F-N Plotによる仕事関数の変化を示す. |
(英) |
High brightness and stable cathode has been required for SEM use. Tungsten based field emission cathode(W-FE) has been used for SEM as high brightness and narrow energy distribution cathode compare with thermal emission. However, single crystal W-FE has some problems, that is expensive and complex for modification by regular flashing process. In order to overcome these problems, we have been studied about Tungsten Carbide(WC) field emission cathode. WC is known as low workfunction material. In this work, we report the process of carbonizing and I-V characteristics of WC-FE. |
キーワード |
(和) |
電界放射陰極 / 仕事関数 / タングステン / 炭化タングステン / / / / |
(英) |
Field emission cathode / Workfunction / Tungsten / Tungsten carbide / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 267, ED2017-42, pp. 27-29, 2017年10月. |
資料番号 |
ED2017-42 |
発行日 |
2017-10-19 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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