| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2017-10-26 10:35
III-V/SOIハイブリッドデバイスとSi導波路接続用テーパ型モード変換器構造の検討 ○鈴木純一・永坂久美・モータズ エイッサ・立花文人・白 柳・御手洗拓矢・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大) OCS2017-38 OPE2017-70 LQE2017-43 |
| 抄録 |
(和) |
多機能を有するIII-V/SOIハイブリッド光回路の実現に向け、導波路幅変調によって飽和特性の調節が可能なIII-V/SOIハイブリッド半導体光増幅器 (SOA; Semiconductor Optical Amplifier) を試作し、テーパ部における損失の見積もりと光増幅器としての増幅傾向を確認した。まず、シミュレータによる光閉じ込め係数変化の見積もりを行い、導波路幅変調による光増幅器の特性変化が得られることを示した。つぎに、テーパ構造の作製トレランスについてシミュレーションを行い、テーパ先端幅とSi導波路とIII-Vアイランドのアライメント誤差の両者がSi導波路とIII-Vアイランドの結合損失に影響をあたえることが計算された。作製したIII-V/SOIハイブリッドSOAでは、受光器として測定した際にテーパ部において約-10dBの結合効率が得られたが、光増幅器の機能として12dB程度の増幅傾向を確認した。 |
| (英) |
In order to realize multi-functional III-V/SOI hybrid photonic integrated circuits, we fabricated a III-V/SOI hybrid semiconductor optical amplifier (SOA) with different Si waveguide width, resulting in the confirmation of amplification tendency. Prior to the fabrication of the hybrid SOA, the Si waveguide width dependences of optical confinement factor were calculated and it was confirmed that saturation tunability along varying Si waveguide width can be realized. Next, by using simulator for estimation of fabrication tolerance in the taper structure, it was found that not only the taper-tip width but also misalignment between Si waveguide and III-V islands caused degradation of coupling efficiency. Finally, III-V/SOI hybrid SOAs were fabricated, and an amplification of 12dB and a coupling efficiency between Si waveguide and hybrid SOA of 10dB/taper were obtained for the device with the Si waveguide width under the island of 4 µm and the active region length of 800 µm. |
| キーワード |
(和) |
ハイブリッド半導体光増幅器 / プラズマ活性化貼付け / シリコンフォトニクス / / / / / |
| (英) |
Hybrid SOA / Plasma activated bonding / Silicon photonics / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 265, LQE2017-43, pp. 13-18, 2017年10月. |
| 資料番号 |
LQE2017-43 |
| 発行日 |
2017-10-19 (OCS, OPE, LQE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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