講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-11-30 15:25
-c面GaN基板上のGaNのMOVPE成長における酸素低減の研究 ○河野 司・久志本真希・永松謙太郎・新田州吾・本田善央・天野 浩(名大) ED2017-53 CPM2017-96 LQE2017-66 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-53 CPM2017-96 LQE2017-66 |
抄録 |
(和) |
MOVPE成長による-c面GaN基板上のGaNは、+c面GaN基板上のGaNに比べ、電子を補償する炭素の取り込み量が少なく、ドリフト層に関して、より低濃度な不純物濃度制御が可能となる。そのため、高耐圧デバイス実現の可能性がある。しかし、酸素の取り込み量が1018 cm-3以上と高く、空乏層が伸びず耐圧が低下する問題がある。そこで、本研究では、酸素濃度の低減のため、高温でのMOVPE成長に取り組んだ。その結果、PLから酸素起因の発光の低減が確認できた。 |
(英) |
GaN epitaxial layer grown on -c plane substrate by MOVPE has a smaller amount of carbon incorporation that compensates electrons than GaN on the + c plane substrate, making it possible to control lower impurity concentration in the drift layer of power device. Therefore, there is a possibility of realizing a high voltage device. However, there is a problem that the amount of oxygen incorporation is as high as 1018 cm-3 or more, therefore the depletion layer does not extend and the operating voltage becomes low. Therefore, in this research, we tried to grow at higher temperature to reduce oxygen concentration. As a result, reduction of luminescence caused by oxygen can be confirmed from PL measurement. |
キーワード |
(和) |
GaN / -c面 / PL / SIMS / 酸素濃度 / / / |
(英) |
GaN / -c-plane / PL / SIMS / Oxygen concentration / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 331, ED2017-53, pp. 19-22, 2017年11月. |
資料番号 |
ED2017-53 |
発行日 |
2017-11-23 (ED, CPM, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
ED2017-53 CPM2017-96 LQE2017-66 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-53 CPM2017-96 LQE2017-66 |
|