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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-01-26 09:50 ナノインプリントリソグラフィを用いたV溝構造を有する液晶素子の基礎検討 ○春名皓太・岡田裕之（富山大）  EID2017-41 |
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| 抄録 | （和） | フレキシブル液晶パネルへ適用可能なノンラビング配向法として、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)を用い超微細V溝構造を転写した配向層を持つ液晶素子を試作した。Si異方性エッチングを用いた原子オーダーに平坦な面を持つ200 nmのライン&スペースのモールドを作製し、PMMA層へ転写することで超微細溝を得た。試作した液晶セルの方位角アンカリングエネルギーは3.9×10^-3 J/m^2、TNセルのコントラスト比は44:1であった。 |
| （英） | For non-rubbing alignment method applicable to flexible liquid crystals (LCs), LC cells with a V-groove alignment layer by nano-imprint lithography (NIL) have investigated. The ultra-fine groove structure was fabricated from 200 nm line & space mold by atomically smooth surface using anisotropic etching of Si and transfer to poly(methyl methacrylate) . Obtained azimuthal anchoring energy of 3.9×10^-3 J/m^2 and contrast ratios of twisted nematic cell was 44:1. | |
| キーワード | （和） | ナノインプリントリソグラフィ / 液晶配向 / 異方性エッチング / / / / / |
| （英） | nano imprint lithography / liquid crystal alignment / anisotropic etching / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 411, EID2017-41, pp. 65-68, 2018年1月. | |
| 資料番号 | EID2017-41 | |
| 発行日 | 2018-01-18 (EID) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EID2017-41 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID ITE-IDY IEIJ-SSL SID-JC IEE-EDD |
| 開催期間 | 2018-01-25 - 2018-01-26 |
| 開催地（和） | 静岡大学 浜松キャンパス |
| 開催地（英） | Shizuoka Univ., Hamamatsu |
| テーマ（和） | 発光型／非発光型ディスプレイ合同研究会 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EID |
| 会議コード | 2018-01-EID-IDY-SSL-JC-EDD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノインプリントリソグラフィを用いたV溝構造を有する液晶素子の基礎検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Liquid Crystal Devices Having the V-Groove Structure by Nano-Imprint Lithography |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノインプリントリソグラフィ / nano imprint lithography |
| キーワード(2)（和/英） | 液晶配向 / liquid crystal alignment |
| キーワード(3)（和/英） | 異方性エッチング / anisotropic etching |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 春名 皓太 / Kota Haruna / ハルナ コウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 裕之 / Hiroyuki Okada / オカダ ヒロユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-01-26 09:50:00 |
| 発表時間 | 10分 |
| 申込先研究会 | EID |
| 資料番号 | EID2017-41 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.411 |
| ページ範囲 | pp.65-68 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-01-18 (EID) |
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