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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-01-30 15:30 ［招待講演］Sub-nm EOT Ferroelectric HfO2 on p+Ge with Highly Reliable Field Cycling Properties ○Xuan Tian・Lun Xu・Shigehisa Shibayama・Tomonori Nishimura・Takeaki Yajima（Univ. of Tokyo）・Shinji Migita（AIST）・Akira Toriumi（Univ. of Tokyo）  SDM2017-96 |
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| 抄録 | （和） | 5-nm-thick ferroelectric Y-doped HfO2 was intensively studied. The thickness dependence of ferroelectric properties indicates that stable ferroelectric characteristics are maintained down to 5-nm-thick by taking care of doping and capping effects. Furthermore, the cycling performance shows no wake-up behavior, no obvious degradation after 10^8 cycles. |
| （英） | 5-nm-thick ferroelectric Y-doped HfO2 was intensively studied. The thickness dependence of ferroelectric properties indicates that stable ferroelectric characteristics are maintained down to 5-nm-thick by taking care of doping and capping effects. Furthermore, the cycling performance shows no wake-up behavior, no obvious degradation after 10^8 cycles. | |
| キーワード | （和） | Ferroelectric HfO2 / thickness dependence / field cycling reliability / / / / / |
| （英） | Ferroelectric HfO2 / thickness dependence / field cycling reliability / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 427, SDM2017-96, pp. 21-24, 2018年1月. | |
| 資料番号 | SDM2017-96 | |
| 発行日 | 2018-01-23 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2017-96 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2018-01-30 - 2018-01-30 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 先端ＣＭＯＳデバイス・ プロセス技術（ＩＥＤＭ特集） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2018-01-SDM |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Sub-nm EOT Ferroelectric HfO2 on p+Ge with Highly Reliable Field Cycling Properties |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Ferroelectric HfO2 / Ferroelectric HfO2 |
| キーワード(2)（和/英） | thickness dependence / thickness dependence |
| キーワード(3)（和/英） | field cycling reliability / field cycling reliability |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田 璇 / Xuan Tian / デン セン |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 徐 倫 / Lun Xu / シュウ ルン |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴山 茂久 / Shigehisa Shibayama / シバヤマ シゲヒサ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西村 知紀 / Tomonori Nishimura / ニシムラ トモノリ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢嶋 赳彬 / Takeaki Yajima / ヤジマ タケアキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 右田 真司 / Shinji Migita / シンジ ミギタ |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鳥海 明 / Akira Toriumi / トリウミ アキラ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-01-30 15:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2017-96 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.427 |
| ページ範囲 | pp.21-24 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-01-23 (SDM) |
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