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| 講演名 | 2018-02-08 10:05 ［招待講演］クラスター気相合成法で形成したWSin (n=12)挿入膜を用いたCu直接コンタクト ○岡田直也・内田紀行・小川真一・遠藤和彦・金山敏彦（産総研）  SDM2017-97 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2017-97 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 429, SDM2017-97, pp. 1-4, 2018年2月. | |
| 資料番号 | SDM2017-97 | |
| 発行日 | 2018-02-01 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2017-97 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2017-97 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2018-02-08 - 2018-02-08 |
| 開催地（和） | 東京大学/本郷 |
| 開催地（英） | Tokyo Univ. |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2018-02-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | クラスター気相合成法で形成したWSin (n=12)挿入膜を用いたCu直接コンタクト |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Cluster-Preforming-Deposited Amorphous WSin (n = 12) Insertion Film of Low SBH and High Diffusion Barrier for Direct Cu Contact |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 直也 / Naoya Okada / オカダ ナオヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内田 紀行 / Noriyuki Uchida / ウチダ ノリユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小川 真一 / Shinichi Ogawa / オガワ シンイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠藤 和彦 / Kazuhiko Endo / エンドウ カズヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金山 敏彦 / Toshihiko Kanayama / カナヤマ トシヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-02-08 10:05:00 |
| 発表時間 | 40分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2017-97 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.429 |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-02-01 (SDM) |
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