| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-03-01 15:05 ［ポスター講演］チップ内多層インダクタの構造と特性の関係評価 ○土谷 亮（滋賀県立大）  MW2017-183 ICD2017-107 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2017-183 ICD2017-107 |
|
| 抄録 | （和） | 本稿では，チップ内で多層配線を利用して構成するインダクタの特性評価の結果を報告する．寄生抵抗 の小さい最上位配線だけでなく下層の配線も使用する多層インダクタは寄生抵抗によってQ 値が小さくなるが，占有 する面積が小さくなるという利点がある．そのため，インダクティブピーキングなどQ 値を重視しない用途で利用さ れる．しかし多層インダクタは，巻数，配線幅，直径などに加えて1 層あたりの巻数や何層使うかといった設計パラ メータが加わるため，設計自由度が上がる．また構造を変化させた際にインダクタンスや寄生抵抗・寄生容量がどの ように変化するかも予想しにくい．このような性質から，面積の削減というメリットがあっても実際の設計に採用す るには障壁があった．本稿では構造パラメータを変化させた多層インダクタ約5,000 パターンを電磁界解析で評価し た結果を報告する．計算時間短縮のため静的電磁界解析で導電性基板の影響は無視しており実際のシリコン上のデバ イス特性とは誤差があると考えられるが，配線構造の変化で抵抗・インダクタンス・容量がどのように変化するかを 示すことで設計者に構造選択の目安となる情報を提供する． |
| （英） | This paper illustrates characteristics exploration of on-chip multi-layered inductors. Multi-layered inductor uses not only thick top metal but also thin lower metal layers. The parasitic resistance in the lower metal layers make the Q-factor smaller, but the footprint becomes small. Thus multi-layered inductors are useful for inductive peaking because the area is important rather than the Q-factor. Multi-layered inductor needs extra design parameters in addition to that of spiral inductors. We have to decide the number of turns in each layer and the number of layers as well as the radius, wire width and the total number of turns. This makes it difficult to predict the characteristics. Therefore there is a barrier to employ multi-layered inductors although it has a big advantage in the area. We investigate the characteristics of about 5,000 patterns of the inductor structure by a 3D field-solver. To reduce the calculation cost, we use static electromagnetic simulation and ignore the effect of conductive substrate. The results might have some error with real devices on silicon, however the data provides guideline for designers to decide the structure of multi-layered inductors. |
|
| キーワード | （和） | オンチップインダクタ / 多層インダクタ / / / / / / |
| （英） | on-chip inductor / multi-layered inductor / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 463, ICD2017-107, pp. 51-51, 2018年3月. | |
| 資料番号 | ICD2017-107 | |
| 発行日 | 2018-02-22 (MW, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2017-183 ICD2017-107 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2017-183 ICD2017-107 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD MW |
| 開催期間 | 2018-03-01 - 2018-03-02 |
| 開催地（和） | 滋賀県立大 |
| 開催地（英） | The University of Shiga Prefecture |
| テーマ（和） | マイクロ波集積回路/マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Microwave Integrated Circuit/Microwave Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2018-03-ICD-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | チップ内多層インダクタの構造と特性の関係評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Relationship of Structure and Characteristics of On-Chip Multi-Layered Inductors |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | オンチップインダクタ / on-chip inductor |
| キーワード(2)（和/英） | 多層インダクタ / multi-layered inductor |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 土谷 亮 / Akira Tsuchiya / ツチヤ アキラ |
| 第1著者 所属（和/英） | 滋賀県立大学 (略称： 滋賀県立大) The University of Shiga Prefecture (略称： Univ. Shiga Prefecture) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第2著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第3著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第4著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第5著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第7著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第8著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第9著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第10著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第13著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-03-01 15:05:00 |
| 発表時間 | 5分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | MW2017-183, ICD2017-107 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.462(MW), no.463(ICD) |
| ページ範囲 | p.51 |
| ページ数 | 1 |
| 発行日 | 2018-02-22 (MW, ICD) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]