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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-04-07 13:10 ［招待講演］酸化物半導体InGaZnOx薄膜トランジスタの特性制御 ○古田 守・アマン S G メハディ・是友大地・曲 勇作（高知工科大）  SDM2018-6 OME2018-6 |
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| 抄録 | （和） | 酸化物半導体をチャネル材料とした薄膜トランジスタ(TFT)は、従来の非晶質シリコンTFTに比較して10倍以上の電界効果移動度を示し、大面積均一性にも優れることより、大画面ディスプレイに向けた次世代TFTとして実用化が始まりつつある。しかしながらZnOやInGaZnOxに代表される酸化物半導体のキャリア生成メカニズムやその特性制御法はシリコン(Si)TFTとは大きく異なる。今回、酸化物半導体TFTのキャリア生成メカニズムとその制御方法に関し、Si TFTプロセスと比較しつつ議論する。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | InGaZnOx(IGZO) / 薄膜トランジスタ(TFT) / 特性制御 / ドーピング / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 1, SDM2018-6, pp. 25-28, 2018年4月. | |
| 資料番号 | SDM2018-6 | |
| 発行日 | 2018-03-30 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2018-6 OME2018-6 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2018-04-06 - 2018-04-07 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2018-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 酸化物半導体InGaZnOx薄膜トランジスタの特性制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | properties of IGZO thin-film transistors. |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | InGaZnOx(IGZO) / |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜トランジスタ(TFT) / |
| キーワード(3)（和/英） | 特性制御 / |
| キーワード(4)（和/英） | ドーピング / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古田 守 / Mamoru Furuta / フルタ マモル |
| 第1著者 所属（和/英） | 高知工科大学 (略称： 高知工科大) Kochi University of Technology (略称： Kochi Univ. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | アマン S G メハディ / Aman S G Mehadi / アマン エス ジー メハディ |
| 第2著者 所属（和/英） | 高知工科大学 (略称： 高知工科大) Kochi University of Technology (略称： Kochi Univ. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 是友 大地 / Daichi Koretomo / コレトモ ダイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 高知工科大学 (略称： 高知工科大) Kochi University of Technology (略称： Kochi Univ. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 曲 勇作 / Yusaku Magari / マガリ ユウサク |
| 第4著者 所属（和/英） | 高知工科大学 (略称： 高知工科大) Kochi University of Technology (略称： Kochi Univ. of Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-04-07 13:10:00 |
| 発表時間 | 40分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2018-6, OME2018-6 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.1(SDM), no.2(OME) |
| ページ範囲 | pp.25-28 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-03-30 (SDM, OME) |
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