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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-07-06 13:50 電析FePtCuのL10規則化促進に向けた微細構造制御 ○堤 優也・神戸茉奈（早大）・ジョバンニ ザンガリ（バージニア大）・本間敬之（早大）  MRIS2018-13 |
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| 抄録 | （和） | 我々はビットパターンドメディア(BPM)の形成プロセスとしてリソグラフィ技術と電解析出法を組み合わせた手法の検討を行っている．従来の検討においてFePt合金を用いてナノドットアレイの形成に成功したが，L10規則化が不十分であることが課題であった．そこで，本検討ではCuの添加によるFePtCu三元合金の形成によってL10規則化促進を試みた．その結果FePt合金と比べてL10規則化が促進されたが，組成が不均一であり規則化が不十分であると推測された．そこで，成膜時の物質輸送の制御による膜内組成の均一化を目的としてFePtCu合金の形成に回転電極系を適用した．その結果，従来の電極系を用いた場合に比べL10規則化の促進及び結晶性の向上が確認された． |
| （英） | We have developed fabrication process of ferromagnetic nanodot arrays for bit patterned media (BPM) by using lithography techniques and electrodeposition. In our previous work, we achieved to fabricate FePt nanodot array, however their L10 ordering was found to be insufficient. In the present work, we attempted to fabricate FePtCu ternary-alloy by electrodeposition with Cu additives in order to enhance the L10-ordering. As a result, L10-ordering was enhanced by FePtCu alloying, on the other hand, compositional gradient, which suppress L10-ordering, was observed. In order to avoid this, we applied a rotating electrode to achieve uniform film composition by controlling mass transfer process. As a result, L10 ordering was enhanced to obtain higher crystallinity. | |
| キーワード | （和） | ビットパターンドメディア / 電解析出法 / FePtCuナノドットアレイ / 回転電極 / L10規則化促進 / / / |
| （英） | Bit patterned media / Electrodeposition / FePtCu nanodot array / Rotating electrode / Enhancement of L10-ordering / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 121, MRIS2018-13, pp. 13-17, 2018年7月. | |
| 資料番号 | MRIS2018-13 | |
| 発行日 | 2018-06-29 (MRIS) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MRIS2018-13 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS ITE-MMS |
| 開催期間 | 2018-07-06 - 2018-07-06 |
| 開催地（和） | 早稲田大学 |
| 開催地（英） | Waseda Univ. |
| テーマ（和） | 固体メモリ・媒体，一般 |
| テーマ（英） | Solid State Memory, Media, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MRIS |
| 会議コード | 2018-07-MRIS-MMS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 電析FePtCuのL10規則化促進に向けた微細構造制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Structural Control of Electrodeposited FePtCu for Enhancing L10 Ordering |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ビットパターンドメディア / Bit patterned media |
| キーワード(2)（和/英） | 電解析出法 / Electrodeposition |
| キーワード(3)（和/英） | FePtCuナノドットアレイ / FePtCu nanodot array |
| キーワード(4)（和/英） | 回転電極 / Rotating electrode |
| キーワード(5)（和/英） | L10規則化促進 / Enhancement of L10-ordering |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 堤 優也 / Yuya Tsutsumi / ツツミ ユウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 神戸 茉奈 / Mana Kambe / カンベ マナ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | ジョバンニ ザンガリ / Giovanni Zangari / |
| 第3著者 所属（和/英） | ヴァージニア大学 (略称： バージニア大) University of Virginia (略称： UVA) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本間 敬之 / Takayuki Homma / ホンマ タカユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-07-06 13:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MRIS |
| 資料番号 | MRIS2018-13 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.121 |
| ページ範囲 | pp.13-17 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2018-06-29 (MRIS) |
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