講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-07-06 13:50
電析FePtCuのL10規則化促進に向けた微細構造制御 ○堤 優也・神戸茉奈(早大)・ジョバンニ ザンガリ(バージニア大)・本間敬之(早大) MRIS2018-13 エレソ技報アーカイブへのリンク:MRIS2018-13 |
抄録 |
(和) |
我々はビットパターンドメディア(BPM)の形成プロセスとしてリソグラフィ技術と電解析出法を組み合わせた手法の検討を行っている.従来の検討においてFePt合金を用いてナノドットアレイの形成に成功したが,L10規則化が不十分であることが課題であった.そこで,本検討ではCuの添加によるFePtCu三元合金の形成によってL10規則化促進を試みた.その結果FePt合金と比べてL10規則化が促進されたが,組成が不均一であり規則化が不十分であると推測された.そこで,成膜時の物質輸送の制御による膜内組成の均一化を目的としてFePtCu合金の形成に回転電極系を適用した.その結果,従来の電極系を用いた場合に比べL10規則化の促進及び結晶性の向上が確認された. |
(英) |
We have developed fabrication process of ferromagnetic nanodot arrays for bit patterned media (BPM) by using lithography techniques and electrodeposition. In our previous work, we achieved to fabricate FePt nanodot array, however their L10 ordering was found to be insufficient. In the present work, we attempted to fabricate FePtCu ternary-alloy by electrodeposition with Cu additives in order to enhance the L10-ordering. As a result, L10-ordering was enhanced by FePtCu alloying, on the other hand, compositional gradient, which suppress L10-ordering, was observed. In order to avoid this, we applied a rotating electrode to achieve uniform film composition by controlling mass transfer process. As a result, L10 ordering was enhanced to obtain higher crystallinity. |
キーワード |
(和) |
ビットパターンドメディア / 電解析出法 / FePtCuナノドットアレイ / 回転電極 / L10規則化促進 / / / |
(英) |
Bit patterned media / Electrodeposition / FePtCu nanodot array / Rotating electrode / Enhancement of L10-ordering / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 121, MRIS2018-13, pp. 13-17, 2018年7月. |
資料番号 |
MRIS2018-13 |
発行日 |
2018-06-29 (MRIS) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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