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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-07-20 09:15 エピタキシャル(Pb,La)(Zr,Ti)O3 (PLZT)薄膜を用いた高速光変調器 ○阿部峻佑・原 英生・増田 伸・君島正幸（アドバンテスト研）  EMT2018-33 MW2018-48 OPE2018-36 EST2018-31 MWP2018-32 |
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| 抄録 | （和） | 光通信の分野においてLiNbO3（LN）を用いた光変調器が主流であるが、素子の小型化は難しく、集積化に適した新材料による光変調素子への要求が高まっている．これまで我々は120 pm/VとLNより4倍高いEO係数をもつエピタキシャルPLZT薄膜をサファイア基板上に成膜することに成功している．本報告では、PLZT薄膜を用いた小型、低電圧駆動の高速光変調器について報告する．光導波路の設計はFinite-difference time-domain method (FDTD)、高速変調を行うCoplanar waveguide (CPW)電極設計にはFinit element method (FEM)を使用して行い、試作評価の結果50 Gb/s以上の変調動作を確認した． |
| （英） | LiNbO3 (LN) based modulators are widely used in optical communications because of its high reliabilities. To satisfy the demands of smaller or integrated devices, new materials with larger electro-optic (EO) coefficients are necessary. In this paper, we describe small and low driving voltage modulators operating at more than 50 Gb/s using our epitaxially-grown PLZT thin films on sapphire substrate. Finite-difference time-domain method (FDTD) is used to design optical waveguide modulators, and finite element method (FEM) is used to design coplanar waveguide (CPW). We fabricated the modulator and confirmed more than 50 Gb/s optical modulation. | |
| キーワード | （和） | (Pb, La)(Zr, Ti)O3 / 光変調器 / 強誘電体 / HFSS / FDTD / / / |
| （英） | (Pb, La)(Zr, Ti)O3 / Optical modulator / Ferroelectric / HFSS / FDTD / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 144, EST2018-31, pp. 143-148, 2018年7月. | |
| 資料番号 | EST2018-31 | |
| 発行日 | 2018-07-12 (EMT, MW, OPE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2018-33 MW2018-48 OPE2018-36 EST2018-31 MWP2018-32 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST MW OPE MWP EMT IEE-EMT THz |
| 開催期間 | 2018-07-19 - 2018-07-20 |
| 開催地（和） | 洞爺観光ホテル |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EST |
| 会議コード | 2018-07-EST-MW-OPE-MWP-EMT-EMT-THz |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | エピタキシャル(Pb,La)(Zr,Ti)O3 (PLZT)薄膜を用いた高速光変調器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-speed optical modulators based on epitaxially grown (Pb,La)(Zr,Ti)O3 (PLZT) thin films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | (Pb, La)(Zr, Ti)O3 / (Pb, La)(Zr, Ti)O3 |
| キーワード(2)（和/英） | 光変調器 / Optical modulator |
| キーワード(3)（和/英） | 強誘電体 / Ferroelectric |
| キーワード(4)（和/英） | HFSS / HFSS |
| キーワード(5)（和/英） | FDTD / FDTD |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 峻佑 / Shunsuke Abe / アベ シュンスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所 (略称： アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd. (略称： Advantest Labs.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原 英生 / Hideo Hara / ハラ ヒデオ |
| 第2著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所 (略称： アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd. (略称： Advantest Labs.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 増田 伸 / Shin Masuda / マスダ シン |
| 第3著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所 (略称： アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd. (略称： Advantest Labs.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 君島 正幸 / Masayuki Kimishima / キミシマ マサユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所 (略称： アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd. (略称： Advantest Labs.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-07-20 09:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EST |
| 資料番号 | EMT2018-33, MW2018-48, OPE2018-36, EST2018-31, MWP2018-32 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.141(EMT), no.142(MW), no.143(OPE), no.144(EST), no.145(MWP) |
| ページ範囲 | pp.143-148 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2018-07-12 (EMT, MW, OPE, EST, MWP) |
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