講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-08-08 16:40
金属-誘電体-金属サブ波長格子とMEMS静電アクチュエータを一体化した可変プラズモニックカラーフィルタの作製 ○平田敦也・満留将人・澤田和明・高橋一浩(豊橋技科大) ED2018-24 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2018-24 |
抄録 |
(和) |
本研究室で開発した静電櫛形アクチュエータとAlサブ波長格子の一体型可変プラズモニックカラーフィルタは透過光ピークシフトの制御が可能であるが、長波長側の光リークが50 %程度発生していたため、波長選択性の向上が必要であった。そこで、本研究では表面プラズモンの励起効率の向上が可能な金属-誘電体-金属(MIM)サブ波長格子とMEMSアクチュエータを一体化させた可変プラズモニックカラーフィルタの製作を目的とした。FIB加工と犠牲層エッチングを組み合わせた作製技術により、基板から自立したMIMサブ波長格子フィルタを作製し、長波長側の光リークを抑制し、波長選択性が向上した結果が得られた。また、MIMサブ波長格子と一体化したアクチュエータを電圧印加によって動作させることに成功し、印加電圧110 Vで格子周期が500 nm から562 nmに拡張したことを示唆する結果が得られた。 |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
表面プラズモン / MEMS / カラーフィルタ / 静電アクチュエータ / / / / |
(英) |
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文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 175, ED2018-24, pp. 27-30, 2018年8月. |
資料番号 |
ED2018-24 |
発行日 |
2018-08-01 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
ED2018-24 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2018-24 |
研究会情報 |
研究会 |
ED |
開催期間 |
2018-08-08 - 2018-08-08 |
開催地(和) |
機械振興会館 |
開催地(英) |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
テーマ(和) |
センサ、MEMS、一般 (※この研究会は台風接近が予想されるため中止となりました。) |
テーマ(英) |
Sensor, MEMS, general(※This Technical Committee Conference was canceled as typhoon approach is expected.) |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
ED |
会議コード |
2018-08-ED |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
金属-誘電体-金属サブ波長格子とMEMS静電アクチュエータを一体化した可変プラズモニックカラーフィルタの作製 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Fabrication of MEMS tunable plasomonic color filter integrated with Metal-Insulator-Metal (MIM) subwavelength grating and electrostatic actuator |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
表面プラズモン / |
キーワード(2)(和/英) |
MEMS / |
キーワード(3)(和/英) |
カラーフィルタ / |
キーワード(4)(和/英) |
静電アクチュエータ / |
キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
平田 敦也 / Atsuya Hirata / ヒラタ アツヤ |
第1著者 所属(和/英) |
豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
満留 将人 / Masato Mitsudome / ミツドメ マサト |
第2著者 所属(和/英) |
豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
澤田 和明 / Kazuaki Sawada / |
第3著者 所属(和/英) |
豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi / |
第4著者 所属(和/英) |
豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2018-08-08 16:40:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
ED |
資料番号 |
ED2018-24 |
巻番号(vol) |
vol.118 |
号番号(no) |
no.175 |
ページ範囲 |
pp.27-30 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2018-08-01 (ED) |