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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-10-04 13:30 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ～ ○唐澤 嶺（早大）・高柳真司（名工大）・遠藤結佳（早大）・今川 誠・森坂啓介・鈴木 雄（フルヤ金属）・柳谷隆彦（早大）  US2018-55 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 229, US2018-55, pp. 37-42, 2018年10月. | |
| 資料番号 | US2018-55 | |
| 発行日 | 2018-09-27 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2018-55 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2018-10-04 - 2018-10-04 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般(共催：東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会) |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2018-10-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 |
| サブタイトル（和） | 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 |
| タイトル（英） | The influence of negative ions generation on various ScAl alloy sputtering targets to ScAlN film properties |
| サブタイトル（英） | Comparison of EB-melted, arc-melted and hot press sintered ScAl alloy targets |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 唐澤 嶺 / Rei Karasawa / カラサワ レイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / タカヤナギ シンジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学 (略称： 名工大) Nagoya Institute of Technology (略称： Nagoya Inst. Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠藤 結佳 / Yuka Endo / エンドウ ユカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 今川 誠 / Makoto Imasaka / イマカワ マコト |
| 第4著者 所属（和/英） | 株式会社フルヤ金属 (略称： フルヤ金属) Furuya Metal Co., Ltd. (略称： Furuya Metal Co., Ltd.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森坂 啓介 / Keisuke Morisaka / モリサカ ケイスケ |
| 第5著者 所属（和/英） | 株式会社フルヤ金属 (略称： フルヤ金属) Furuya Metal Co., Ltd. (略称： Furuya Metal Co., Ltd.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雄 / Yu Suzuki / スズキ ユウ |
| 第6著者 所属（和/英） | 株式会社フルヤ金属 (略称： フルヤ金属) Furuya Metal Co., Ltd. (略称： Furuya Metal Co., Ltd.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第7著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-10-04 13:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2018-55 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.229 |
| ページ範囲 | pp.37-42 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2018-09-27 (US) |
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