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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-10-19 15:05 多層パーセプトロンによる多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定における次元数に関する検討 ○工藤博章・松本哲也（名大）・沓掛健太朗（理研）・宇佐美徳隆（名大）  IMQ2018-14 |
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| 抄録 | （和） | 多結晶シリコンウェハのPL像に対して，ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った．多層パーセプトロン（MLP）によるニューラルネットワークの学習を行うことにより転位領域を含む領域であるか否かを識別する手法について検討を行った．隠れ層の第1層の素子数を変化させた時のネットワークの出力の性能について検討を行った．1枚のウェハと3枚のウェハを用いた学習を比較したところ，3枚のウェハを用い，3層で10程度の素子数での構成での性能が高い結果が得られた． |
| （英） | In this report, we studied a specified method of regions including dislocations which are crystallographic defects in a photoluminescence (PL) image of multicrystalline silicon wafers. We utilized a neural network of multilayer perceptron (MLP) to classify fragmented region in the wafer image to a region including dislocation or not. We examined effects in network's output depending on changes in the numbers of elements of the first hidden layer. In the comparison of conditions using 1 wafer image or 3 wafer images, we obtained results that the network composed 3 hidden layers and the first hidden layer has about 10 elements with 3 wafers images shows good performance. |
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| キーワード | （和） | 多結晶シリコン / PL像 / 転位 / 多層パーセプトロン / / / / |
| （英） | multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation / multilayer perceptron / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 256, IMQ2018-14, pp. 19-24, 2018年10月. | |
| 資料番号 | IMQ2018-14 | |
| 発行日 | 2018-10-12 (IMQ) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | IMQ2018-14 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | IMQ |
| 開催期間 | 2018-10-19 - 2018-10-19 |
| 開催地（和） | 京都工芸繊維大学 |
| 開催地（英） | Kyoto Institute of Technology |
| テーマ（和） | 視覚とIMQ一般 |
| テーマ（英） | Visual Perception and IMQ |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | IMQ |
| 会議コード | 2018-10-IMQ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 多層パーセプトロンによる多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定における次元数に関する検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of dimensionality of multilayer perceptron estimating dislocation regions in multicrystalline silicon photoluminescence image |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 多結晶シリコン / multicrystalline silicon |
| キーワード(2)（和/英） | PL像 / photoluminescence image |
| キーワード(3)（和/英） | 転位 / dislocation |
| キーワード(4)（和/英） | 多層パーセプトロン / multilayer perceptron |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 博章 / Hiroaki Kudo / クドウ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto / マツモト テツヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) RIKEN (略称： RIKEN) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami / ウサミ ノリタカ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-10-19 15:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | IMQ |
| 資料番号 | IMQ2018-14 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.256 |
| ページ範囲 | pp.19-24 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2018-10-12 (IMQ) |
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