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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-03-15 14:25 畳み込みニューラルネットワークの転移学習による多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定 ○工藤博章・松本哲也（名大）・沓掛健太朗（理研）・宇佐美徳隆（名大）  IMQ2018-69 IE2018-153 MVE2018-100 |
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| 抄録 | （和） | 本報告では，多結晶シリコンウェハのPL像に対して，ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った．畳み込みニューラルネットワークの転移学習により，転位領域を含む領域であるか否かを識別する手法について検討を行った．0.94以上の高い正解率が得られ，Youden's index を指標として， 隠れ層が3までの多層パーセプトロンによるもの，Bag of featuresによる手法よりも性能の高い結果が得られた．また，非負値行列因子分解による特徴を用いた検出よりも，学習画像に対してシリコンインゴットの深さの違いが大きくなる画像で，性能の改善を得た． |
| （英） | In this report, we studied a specified method of regions including dislocations which are crystallographic defects in a photoluminescence (PL) image of multicrystalline silicon wafers. We applied transfer learning of a convolutional neural network to archive it. The network outputs the category which includes dislocation regions or one which does not include them. High accuracies of more than 0.94 are realized. It outperformed methods of multilayer perceptron which has up to 3 hidden layers or of bag of features algorithm as an index by Youden's index. It also obtained better results than the method using non-negative matrix factorization in the condition that the image has larger in depth of learning images in the silicon ingot. | |
| キーワード | （和） | 畳み込みニューラルネットワーク / 転移学習 / 多結晶シリコン / PL像 / 転位 / / / |
| （英） | convolutional neural network / transfer learning / multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 500, IMQ2018-69, pp. 257-262, 2019年3月. | |
| 資料番号 | IMQ2018-69 | |
| 発行日 | 2019-03-07 (IMQ, IE, MVE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | IMQ2018-69 IE2018-153 MVE2018-100 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | IMQ IE MVE CQ |
| 開催期間 | 2019-03-14 - 2019-03-15 |
| 開催地（和） | 鹿児島大学 郡元キャンパス |
| 開催地（英） | Kagoshima University |
| テーマ（和） | 五感メディア，マルチメディア，メディアエクスペリエンス， 映像符号化，イメージメディアの品質，ネットワークの品質 および信頼性，一般 （魅力工学（AC）研究会協賛） |
| テーマ（英） | media of five senses, multimedia, media experience, picture codinge, image media quality, network,quality and reliability, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | IMQ |
| 会議コード | 2019-03-IMQ-IE-MVE-CQ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 畳み込みニューラルネットワークの転移学習による多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Estimation of dislocation regions in multicrystalline silicon photoluminescence image by transfer learning with convolutional neural network |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 畳み込みニューラルネットワーク / convolutional neural network |
| キーワード(2)（和/英） | 転移学習 / transfer learning |
| キーワード(3)（和/英） | 多結晶シリコン / multicrystalline silicon |
| キーワード(4)（和/英） | PL像 / photoluminescence image |
| キーワード(5)（和/英） | 転位 / dislocation |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 博章 / Hiroaki Kudo / クドウ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto / マツモト テツヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) RIKEN (略称： RIKEN) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami / ウサミ ノリタカ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-03-15 14:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | IMQ |
| 資料番号 | IMQ2018-69, IE2018-153, MVE2018-100 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.500(IMQ), no.501(IE), no.502(MVE) |
| ページ範囲 | pp.257-262 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-03-07 (IMQ, IE, MVE) |
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