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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-08-06 15:50 化合物半導体トンネルダイオードの特性評価と解析を目指した被試験素子のモデル化 ○須原理彦（首都大東京）  ED2019-30 |
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| 抄録 | （和） | 化合物半導体トンネルダイオード等の特性解析を目指し，オンウエハ測定のための被試験素子のモデル化と評価のための考察を行った。具体的には，半絶縁性基板上に形成しダイオードを模擬した半導体メサ形状と埋め込み絶縁膜およびコンタクト用電極からなる被試験素子形状のミリ波帯Sパラメータ特性を電磁界シミュレーションし，その結果から等価回路モデルを同定し，半導体メサ部分の素子特性を寄生成分から分離して評価する手法について検討した結果を報告する。 |
| （英） | Aiming at the characteristic analysis of compound semiconductor tunnel diode, we considered for modeling and evaluation of the device under test. Specifically, the millimeter wave band S-parameter characteristics of the device under test consisting of a semiconductor mesa shape formed on a semi-insulating substrate and simulating a diode, a buried insulating film, and a contact electrode are electromagnetic field simulated, and the results are The equivalent circuit model is identified, and the result of examining the method of separating and evaluating the element characteristic of the semiconductor mesa part from the parasitic component is reported. | |
| キーワード | （和） | オンウエハ測定 / ミリ波帯 / Sパラメータ / 電磁界シミュレーション / モデリング / / / |
| （英） | on-wafer measurement / millimeter-wave / S-parameter / electromagnetic field simulation / modeling / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 160, ED2019-30, pp. 17-19, 2019年8月. | |
| 資料番号 | ED2019-30 | |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2019-30 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2019-08-06 - 2019-08-06 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ、MEMS、一般 |
| テーマ（英） | Sensors, MEMS, General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2019-08-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 化合物半導体トンネルダイオードの特性評価と解析を目指した被試験素子のモデル化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Modeling of a devices under test for characterization and analysis of compound semiconductor tunnel diodes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | オンウエハ測定 / on-wafer measurement |
| キーワード(2)（和/英） | ミリ波帯 / millimeter-wave |
| キーワード(3)（和/英） | Sパラメータ / S-parameter |
| キーワード(4)（和/英） | 電磁界シミュレーション / electromagnetic field simulation |
| キーワード(5)（和/英） | モデリング / modeling |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須原 理彦 / Michihiko Suhara / スハラ ミチヒコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 首都大学東京 (略称： 首都大東京) Tokyo Metropolitan University (略称： TMU) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-08-06 15:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2019-30 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.160 |
| ページ範囲 | pp.17-19 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |
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