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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-11-07 14:30 誘電体表面の微細凹凸欠陥の識別用ホログラムの設計 ○杉坂純一郎・安井 崇・平山浩一（北見工大）  EMT2019-47 |
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| 抄録 | （和） | 物体表面の凹凸は，光を照射し，反射光の位相情報から非破壊的に計測できる．しかし，表面の傷や塵埃など，光の波長より小さな凹凸の場合は，凹凸形状と散乱波の関係が複雑になり，正しく計測できない．本研究では，誘電体平面上の微細な凹型，凸型欠陥を識別するための計算機合成ホログラムを設計する．複雑な干渉計や精密な機械的スキャンは必要なく，試料からの散乱波をこのホログラムに通し，現れるスポット像の強度値から容易に識別できることを示す． |
| （英） | Small defects on a flat surface can be measured from the phase information of the reflected light. However, discrimination of the fine convex and concave defects that are smaller than the illumination wavelength is difficult because of the complicated relation of the phase information and the defect structure. In this study, we design a computer-generated hologram to discriminate fine convex and concave defects on a dielectric flat surface. This system does not need any interferometer and mechanical scanning. The defect identification can be easily achieved by observing the spot intensity after passing the scattered wave from the sample through this hologram. | |
| キーワード | （和） | 逆問題 / 散乱理論 / 光計測 / ホログラム / / / / |
| （英） | Inverse problem / Scattering theory / Optical measurement / Computer-generated hologram / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 272, EMT2019-47, pp. 39-44, 2019年11月. | |
| 資料番号 | EMT2019-47 | |
| 発行日 | 2019-10-31 (EMT) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2019-47 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT IEE-EMT |
| 開催期間 | 2019-11-07 - 2019-11-09 |
| 開催地（和） | ホテル春慶屋 |
| 開催地（英） | Hotel Syunkeiya |
| テーマ（和） | 電磁界理論一般 |
| テーマ（英） | Electromagnetic Theory, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMT |
| 会議コード | 2019-11-EMT-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 誘電体表面の微細凹凸欠陥の識別用ホログラムの設計 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Design of computer-generated hologram for discrimination of concave and convex fine defects on dielectric surface |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 逆問題 / Inverse problem |
| キーワード(2)（和/英） | 散乱理論 / Scattering theory |
| キーワード(3)（和/英） | 光計測 / Optical measurement |
| キーワード(4)（和/英） | ホログラム / Computer-generated hologram |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉坂 純一郎 / Jun-ichiro Sugisaka / スギサカ ジュンイチロウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 崇 / Takashi Yasui / ヤスイ タカシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平山 浩一 / Koichi Hirayama / ヒラヤマ コウイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-11-07 14:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMT |
| 資料番号 | EMT2019-47 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.272 |
| ページ範囲 | pp.39-44 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-10-31 (EMT) |
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