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講演抄録/キーワード
講演名 2019-11-26 13:00
CNTガス透過電極を有するポリイミド湿度センサの高速化のための膜厚及びポリイミド材料の検討
畑山 誠伊東栄次信州大EE2019-42 CPM2019-84 OME2019-28 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2019-84 OME2019-28
抄録 (和) 本研究ではガス透過性に優れた多層カーボンナノチューブ(CNT)を上部電極とした含フッ素ポリイミドを感湿層とした容量式ポリイミド湿度センサの超高速化に向けた検討を行った。水分子の拡散モデルに基づき感湿層の膜厚を薄くしたり含フッ素量が高いポリイミドを採用することで10ミリ秒台に高速化した。また感度についても含フッ素量を変えることで低下したが、薄膜化により補完することで、高速で高感度な容量型湿度センサの実現の可能性を明らかとした。 
(英) In this study, we investigated the ultra high-speed capacitive polyimide humidity sensor using fluorinated polyimide with a multi-walled carbon nanotube (CNT) gas permeable upper electrodes. On the basis of the diffusion model, the receponce time is reduced to less than 0.1s by reducing the film thickness of dielectric layer and adopting polyimide with high fluorine content. Although the sensitivity S reduces by half in the polyimide sensor with higher fluorince content, the S value further increases with the decrement of the polyimide thickness. The contribution of the replacement time for the ambient gas and the electrode interface are also discussed for the realization of the ultra-high-speed, highly-sensitive capacitive humidity sensors.
キーワード (和) カーボンナノチューブ / ポリイミド / 容量型湿度センサ / フッ素 / / / /  
(英) Carbon nanotubes / polyimde / capacitive humidity sensor / fluorine / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 311, OME2019-28, pp. 35-40, 2019年11月.
資料番号 OME2019-28 
発行日 2019-11-19 (EE, CPM, OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード EE2019-42 CPM2019-84 OME2019-28 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2019-84 OME2019-28

研究会情報
研究会 EE OME CPM  
開催期間 2019-11-26 - 2019-11-26 
開催地(和) 機械振興会館 地下3階1号室 
開催地(英) Japan Society for the Promotiton of Machine Industry 
テーマ(和) エネルギー技術、半導体電力変換、電池、電気化学デバイス、材料、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2019-11-EE-OME-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) CNTガス透過電極を有するポリイミド湿度センサの高速化のための膜厚及びポリイミド材料の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Effect of polyimide structure and thickness on the response time of ultra-fast polyimide humidity sensors with CNT gas permeable electrodes 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) カーボンナノチューブ / Carbon nanotubes  
キーワード(2)(和/英) ポリイミド / polyimde  
キーワード(3)(和/英) 容量型湿度センサ / capacitive humidity sensor  
キーワード(4)(和/英) フッ素 / fluorine  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 畑山 誠 / Makoto Hatayama / ハタヤマ マコト
第1著者 所属(和/英) 信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 伊東 栄次 / Eiji Itoh / イトウ エイジ
第2著者 所属(和/英) 信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.)
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講演者
発表日時 2019-11-26 13:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OME 
資料番号 EE2019-42, CPM2019-84, OME2019-28 
巻番号(vol) 119 
号番号(no) no.309(EE), no.310(CPM), no.311(OME) 
ページ範囲 pp.35-40 
ページ数
発行日 2019-11-19 (EE, CPM, OME) 


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