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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2020-10-22 14:00 Investigation on millisecond solid phase crystallization of amorphous silicon films induced by micro thermal plasma jet. ○Hoa Thi Khanh Nguyen・Hiroaki Hanafusa・Yuri Mizukawa（Hiroshima Univ.）・Shohei Hayashi（Toray Res. Cent.）・Seiichiro Higashi（Hiroshima Univ.）  SDM2020-18 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 205, SDM2020-18, pp. 20-24, 2020年10月. | |
| 資料番号 | SDM2020-18 | |
| 発行日 | 2020-10-15 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2020-18 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2020-10-22 - 2020-10-22 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2020-10-SDM |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation on millisecond solid phase crystallization of amorphous silicon films induced by micro thermal plasma jet. |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | Hoa Thi Khanh Nguyen / Hoa Thi Khanh Nguyen / |
| 第1著者 所属（和/英） | Hiroshima University (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | Hiroaki Hanafusa / Hiroaki Hanafusa / |
| 第2著者 所属（和/英） | Hiroshima University (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | Yuri Mizukawa / Yuri Mizukawa / |
| 第3著者 所属（和/英） | Hiroshima University (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | Shohei Hayashi / Shohei Hayashi / |
| 第4著者 所属（和/英） | Toray Research Center (略称： Toray Res. Cent.) Toray Research Center (略称： Toray Res. Cent.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | Seiichiro Higashi / Seiichiro Higashi / |
| 第5著者 所属（和/英） | Hiroshima University (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2020-10-22 14:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2020-18 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.205 |
| ページ範囲 | pp.20-24 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2020-10-15 (SDM) |
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