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| 講演名 | 2020-11-18 14:00 宇宙機用集積回路に適した薄膜BOX FDSOIプロセスで試作したリングオシレータのトータルドーズ効果の実測評価 ○吉田高士・古田 潤・小林和淑（京都工繊大）  VLD2020-30 ICD2020-50 DC2020-50 RECONF2020-49 |
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| 抄録 | （和） | 宇宙で用いられる機器には半導体を用いた集積回路が必要不可欠であるが，宇宙空間で長期運用が求めら れる半導体デバイスでは宇宙放射線によるトータルドーズ効果(TID) が問題となる．FDSOI プロセスは放射線による 一時的な故障であるソフトエラーに強い一方，BOX 層を有するためにTID に対して脆弱になる．本稿ではγ線の照射 実験を行い，リングオシレータ(RO) の発振周波数の変化を調べることで65 nm 薄膜FDSOI プロセスのTID 耐性を評 価した．γ線照射の代替として，簡易的に行えるα線照射によるTID の評価手法について提案する． |
| （英） | The Total Ionizing Dose (TID) effect is one of the major concerns for semiconductor devices in outer space, where high and low energy particles penetrate to space crafts. The Fully-Depleted Silicon On Insulator (FDSOI) process has brought a significant improvement of electronic devices resilient to soft errors that are major reliability concerns for semiconductor devices in outer space. However, due to the buried oxide (BOX) layer, it becomes more sensitive to TID than a conventional planer bulk process. In this paper, we evaluate TID tolerance of 65 nm thin BOX FDSOI process by measuring Ring Ocillator (RO) frequecy. By comparing the irradiation of α ray and γ ray, it was shown that α ray irradiation that can be done in a laboratory can be used instead of γ ray irradiation that must be done under a secured measurement facility. | |
| キーワード | （和） | 宇宙機 / トータルドーズ効果 / FDSOI / リングオシレータ / γ線 / α線 / / |
| （英） | Space Craft / Total Ionizing Dose Effect / FDSOI / Ring Oscillator / Gamma-ray / Alpha-ray / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 235, ICD2020-50, pp. 110-114, 2020年11月. | |
| 資料番号 | ICD2020-50 | |
| 発行日 | 2020-11-10 (VLD, ICD, DC, RECONF) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2020-30 ICD2020-50 DC2020-50 RECONF2020-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC RECONF ICD IPSJ-SLDM |
| 開催期間 | 2020-11-17 - 2020-11-18 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | デザインガイア2020 -VLSI設計の新しい大地- |
| テーマ（英） | Design Gaia 2020 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2020-11-VLD-DC-RECONF-ICD-SLDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 宇宙機用集積回路に適した薄膜BOX FDSOIプロセスで試作したリングオシレータのトータルドーズ効果の実測評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measurement Results of Total Ionizing Dose Effect on Ring Oscillators Fabricated by a Thin-BOX FDSOI Process for Outer-space Mission |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 宇宙機 / Space Craft |
| キーワード(2)（和/英） | トータルドーズ効果 / Total Ionizing Dose Effect |
| キーワード(3)（和/英） | FDSOI / FDSOI |
| キーワード(4)（和/英） | リングオシレータ / Ring Oscillator |
| キーワード(5)（和/英） | γ線 / Gamma-ray |
| キーワード(6)（和/英） | α線 / Alpha-ray |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 高士 / Takashi Yoshida / ヨシダ タカシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： KIT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古田 潤 / Jun Furuta / フルタ ジュン |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： KIT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 和淑 / Kazutoshi Kobayashi / コバヤシ カズトシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： KIT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2020-11-18 14:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | VLD2020-30, ICD2020-50, DC2020-50, RECONF2020-49 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.234(VLD), no.235(ICD), no.236(DC), no.237(RECONF) |
| ページ範囲 | pp.110-114 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2020-11-10 (VLD, ICD, DC, RECONF) |
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