講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-02-22 13:25
オンチップ検出に向けたグラフェン型表面応力センサの作製と評価 ○新野 謙・上坂淳平・坪内麟太郎・金森亮人・喜種 慎・古澤絵里子・飛沢 健・赤井大輔・野田佳子・チェ ヨンジュン・野田俊彦・澤田和明・髙橋一浩(豊橋技科大) ED2020-39 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2020-39 |
抄録 |
(和) |
タンパク質等の生体分子などを非標識に検出するセンサとして MEMS 技術により作製された表面応 力センサがある。このセンサは、可動膜に付着した分子同士や可動膜表面の電荷の相互作用により発生する膜の変 形を捉えることで、分子検出を行うセンサである。このセンサの可動膜に 2 次元材料であるグラフェンを用いるこ とで、超高感度な検出が期待できる。そこで本研究では、グラフェンの架橋構造を用いた表面応力センサを作製し、 分子修飾を行うことで終濃度 1 pg/mL のヒト血清アルブミン抗原の検出に成功した。また、フォトディテクタを用 いた検出回路とグラフェンの架橋構造を一体化することで、分子の吸着を電気的に出力できることから、プロセス の検討を行った。集積回路上にグラフェンの転写を行うため、検出回路上表面の段差・粗さの軽減のための CMP に よる平坦化プロセスの追加とレジスト除去プロセスの変更を行った。SEM 観察によりグラフェンの架橋構造を確認 できたことから、検出回路上にグラフェンの架橋構造の形成に成功した。 |
(英) |
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キーワード |
(和) |
グラフェン / 光干渉 / 表面応力センサ / CMOS-MEMS / / / / |
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文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 378, ED2020-39, pp. 5-8, 2021年2月. |
資料番号 |
ED2020-39 |
発行日 |
2021-02-15 (ED) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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