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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-02-22 13:25 オンチップ検出に向けたグラフェン型表面応力センサの作製と評価 ○新野 謙・上坂淳平・坪内麟太郎・金森亮人・喜種 慎・古澤絵里子・飛沢 健・赤井大輔・野田佳子・チェ ヨンジュン・野田俊彦・澤田和明・髙橋一浩（豊橋技科大）  ED2020-39 |
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| 抄録 | （和） | タンパク質等の生体分子などを非標識に検出するセンサとして MEMS 技術により作製された表面応 力センサがある。このセンサは、可動膜に付着した分子同士や可動膜表面の電荷の相互作用により発生する膜の変 形を捉えることで、分子検出を行うセンサである。このセンサの可動膜に 2 次元材料であるグラフェンを用いるこ とで、超高感度な検出が期待できる。そこで本研究では、グラフェンの架橋構造を用いた表面応力センサを作製し、 分子修飾を行うことで終濃度 1 pg/mL のヒト血清アルブミン抗原の検出に成功した。また、フォトディテクタを用 いた検出回路とグラフェンの架橋構造を一体化することで、分子の吸着を電気的に出力できることから、プロセス の検討を行った。集積回路上にグラフェンの転写を行うため、検出回路上表面の段差・粗さの軽減のための CMP に よる平坦化プロセスの追加とレジスト除去プロセスの変更を行った。SEM 観察によりグラフェンの架橋構造を確認 できたことから、検出回路上にグラフェンの架橋構造の形成に成功した。 |
| （英） | ||
| キーワード | （和） | グラフェン / 光干渉 / 表面応力センサ / CMOS-MEMS / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 378, ED2020-39, pp. 5-8, 2021年2月. | |
| 資料番号 | ED2020-39 | |
| 発行日 | 2021-02-15 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2020-39 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2021-02-22 - 2021-02-22 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | センサ、MEMS、一般 |
| テーマ（英） | Sensors, MEMS, General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2021-02-ED |
| 本文の言語 | 日本語（英語タイトルなし） |
| タイトル（和） | オンチップ検出に向けたグラフェン型表面応力センサの作製と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | グラフェン / |
| キーワード(2)（和/英） | 光干渉 / |
| キーワード(3)（和/英） | 表面応力センサ / |
| キーワード(4)（和/英） | CMOS-MEMS / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新野 謙 / / アラノ ケン |
| 第1著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上坂 淳平 / / ウエサカ ジュンペイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坪内 麟太郎 / / ツボウチ リンタロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金森 亮人 / / カナモリ リョウト |
| 第4著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 喜種 慎 / / キダネ シン |
| 第5著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古澤 絵里子 / / フルサワ エリコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 飛沢 健 / / ヒザワ タケシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 赤井 大輔 / / アカイ ダイスケ |
| 第8著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野田 佳子 / / ノダ ヨシコ |
| 第9著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | チェ ヨンジュン / / |
| 第10著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野田 俊彦 / / ノダ トシヒコ |
| 第11著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 澤田 和明 / / サワダ カズアキ |
| 第12著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 髙橋 一浩 / / タカハシ カズヒロ |
| 第13著者 所属（和/英） | 国立大学法人豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-02-22 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2020-39 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.378 |
| ページ範囲 | pp.5-8 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2021-02-15 (ED) |
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