講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-04-23 14:40
[招待講演]大気圧マイクロプラズマジェットを用いたアモルファスゲルマニウム薄膜の超急速結晶化と電気特性評価 ○東 清一郎(広島大) エレソ技報アーカイブはこちら |
抄録 |
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文献情報 |
信学技報 |
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研究会情報 |
研究会 |
SDM OME |
開催期間 |
2021-04-23 - 2021-04-24 |
開催地(和) |
沖縄県青年会館 |
開催地(英) |
Okinawaken Seinen Kaikan |
テーマ(和) |
薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
テーマ(英) |
Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
SDM |
会議コード |
2021-04-SDM-OME |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
大気圧マイクロプラズマジェットを用いたアモルファスゲルマニウム薄膜の超急速結晶化と電気特性評価 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Ultra-rapid Crystallization of Amorphous Germanium Films by Atmospheric Pressure Micro-Thermal Plasma Jet and Investigation on their Electrical Characteristics |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
東 清一郎 / Seiichiro Higashi / ヒガシ セイイチロウ |
第1著者 所属(和/英) |
広島大学 (略称: 広島大)
HIroshima University (略称: Hiroshima Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2021-04-23 14:40:00 |
発表時間 |
30分 |
申込先研究会 |
SDM |
資料番号 |
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巻番号(vol) |
vol.121 |
号番号(no) |
no.8(SDM), no.9(OME) |
ページ範囲 |
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ページ数 |
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発行日 |
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