講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-07-06 10:25
代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類の一手法 ○桝谷智哉・石野修平・藤吉邦洋(東京農工大) CAS2021-10 VLD2021-10 SIP2021-20 MSS2021-10 |
抄録 |
(和) |
従来、半導体集積回路のレイアウト設計では、レイアウトの最小線幅や最小間隔などを定めたデザインルールを順守することで高い歩留まりを維持していた。ところが、近年、半導体の微細化が進んだために、露光の際に短絡や断線などの問題が生じる可能性が高い箇所(ホットスポット)の発生を十分に防げず、デザインルールの遵守では十分に高い歩留まりを維持できなくなっている。よって、歩留まり向上のためにホットスポットの検出と修正が不可欠である。ホットスポットの検出はリソグラフィシミュレーションを行うことで可能だが、多大な計算時間を要するため、近年では代替手法としてパターンマッチングによる検出手法が実用化されている。その検出手法で用いるライブラリは、ホットスポットを中心にして、指定サイズの正方形の枠で切り出した領域である「クリップ」について、``似た''クリップ同士でグループ分けして作成する。本稿では、同一グループのクリップが辺の移動幅という物理量の観点で、与えられた範囲内に収まるクリップ同士を``似た''と判断してグループ分けを行う。グループ数が小さいほどよい分類結果であると好まれている。従来手法では、入力として与えられたクリップのみを用いてクリップを分類する場合にグループ数が最小の解を求めることができる。
しかし、入力として与えられたクリップのうち多くのものと類似したクリップを生成することができれば、よりグループ数を削減できる可能性があることに着目した。その代表クリップ生成を考慮した分類手法を本稿で述べる。しかしまず、前提として、本稿の分類手法では、辺の移動幅条件を分類の基準に使用するが、より一般化できる潜在性があるので辺の移動幅条件を一般化する。そして次に、Changらが示した「2つのクリップが辺の移動幅条件を満たすか否かの判定法」を利用するが、用語の厳密な定義、証明がなされていないため、それらを行う。それを踏まえて、「代表クリップが生成できる条件」を示し、代表クリップ生成を考慮した分類を計算機実装して実験を行い、有効性を確認する。 |
(英) |
In recent years, we group layout clips of hotspots of similar pattern to create library, which is used to detect hotspots from new layout.
The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification.
In this paper, we propose a method of layout pattern classification considering creating representative clip due to decreasing number of groups.
Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method. |
キーワード |
(和) |
レイアウトパターン分類 / クラスタリング / / / / / / |
(英) |
Layout Pattern Classification / Clustering / / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 90, VLD2021-10, pp. 48-53, 2021年7月. |
資料番号 |
VLD2021-10 |
発行日 |
2021-06-28 (CAS, VLD, SIP, MSS) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
CAS2021-10 VLD2021-10 SIP2021-20 MSS2021-10 |
研究会情報 |
研究会 |
SIP CAS VLD MSS |
開催期間 |
2021-07-05 - 2021-07-06 |
開催地(和) |
オンライン開催 |
開催地(英) |
Online |
テーマ(和) |
システムと信号処理および一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
VLD |
会議コード |
2021-07-SIP-CAS-VLD-MSS |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類の一手法 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
A Method of Layout Pattern Classification with Creating Representative Clip |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
レイアウトパターン分類 / Layout Pattern Classification |
キーワード(2)(和/英) |
クラスタリング / Clustering |
キーワード(3)(和/英) |
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キーワード(4)(和/英) |
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キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
桝谷 智哉 / Tomoya Masutani / マスタニ トモヤ |
第1著者 所属(和/英) |
東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
石野 修平 / Shuhei Ishino / イシノ シュウヘイ |
第2著者 所属(和/英) |
東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi / フジヨシ クニヒロ |
第3著者 所属(和/英) |
東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2021-07-06 10:25:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
VLD |
資料番号 |
CAS2021-10, VLD2021-10, SIP2021-20, MSS2021-10 |
巻番号(vol) |
vol.121 |
号番号(no) |
no.89(CAS), no.90(VLD), no.91(SIP), no.92(MSS) |
ページ範囲 |
pp.48-53 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2021-06-28 (CAS, VLD, SIP, MSS) |
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