講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-10-22 14:10
Conditional GANによる結晶方位情報を埋め込んだ光学イメージから蛍光イメージへの変換 ~ 光学イメージ群の選択に関する検討 ~ ○工藤博章・小島拓人(名大)・沓掛健太朗(理研)・松本哲也・宇佐美徳隆(名大) IMQ2021-8 |
抄録 |
(和) |
多結晶シリコンウェハに対して,入射光の方位を変えると粒の結晶方位に応じた反射光の変化を見ることができる.これらの結晶方位情報をもつ光学イメージから3枚を選択し,擬似的にカラー画像化した光学イメージから転位領域を可視化できる蛍光イメージへの変換をconditional GANによって行った.粒の抽出のため,照明光の方位が大きい光学イメージの組みと,転位領域の再現のため,隣接した配置での組みを選択することが有用である可能性を示唆する結果を得た. |
(英) |
We can observe changes of reflected lights depend on a crystallographic orientation of each grain in a multicrystalline silicon wafer, when we change a direction of an illuminant light. We chose three from these optic images with embedded crystallographic orientation information, and composited a pseudo color image. Image translation from the image to photoluminescence image which can visualize dislocation clusters was performed with conditional GAN. We obtained results that it suggest that to use a set of images whose angle between directions of an illuminant light is large is useful to extract shapes of grains and that to use a set of ones whose adjacent images to represent dislocation regions. |
キーワード |
(和) |
conditional GAN / 光学イメージ / 蛍光イメージ / 結晶方位 / 転位 / / / |
(英) |
conditional GAN / optical image / photoluminescence image / crystallographic orientation / dislocation / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 217, IMQ2021-8, pp. 8-11, 2021年10月. |
資料番号 |
IMQ2021-8 |
発行日 |
2021-10-15 (IMQ) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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