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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-11-15 15:10 メンブレンを用いたSTJ検出器のノイズ低減に関する研究 ○柴﨑太我（埼玉大/産総研）・藤井 剛・浮辺雅宏（産総研）・田井野 徹（埼玉大）  SCE2021-9 |
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| 抄録 | （和） | 超伝導トンネル接合(STJ)検出器は、理論上半導体検出器の数十倍の高いエネルギー分解能を実現でき、SiCやGaN等の次世代省エネルギー半導体中の微量軽元素等の蛍光X線分析への利用が期待されている。 しかし現行のSTJはSi基板上に直接集積されているため、高エネルギーX線がSi基板で吸収されることによって発生する信号が微量軽元素の特性X線ピークと重なることにより、微量軽元素分析が困難となっている。 そこで我々は、STJ直下でのX線吸収を防止するため、STJ直下のSi基板を除去し、自立メンブレン上にSTJを集積する構造を提案した。 本研究では、メンブレン形成方法を確立、及び同メンブレン上へのSTJの作製を行った。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 超伝導X線検出器 / STJ検出器 / 軽元素分析 / メンブレン / 膜応力 / 裏面露光 / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 248, SCE2021-9, pp. 10-14, 2021年11月. | |
| 資料番号 | SCE2021-9 | |
| 発行日 | 2021-11-08 (SCE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2021-9 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2021-11-15 - 2021-11-15 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 超伝導エレクトロニクス一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2021-11-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | メンブレンを用いたSTJ検出器のノイズ低減に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Noise reduction in superconducting tunnel junction detector by using membrane |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導X線検出器 / |
| キーワード(2)（和/英） | STJ検出器 / |
| キーワード(3)（和/英） | 軽元素分析 / |
| キーワード(4)（和/英） | メンブレン / |
| キーワード(5)（和/英） | 膜応力 / |
| キーワード(6)（和/英） | 裏面露光 / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴﨑 太我 / Taiga Shibasaki / シバサキ タイガ |
| 第1著者 所属（和/英） | 埼玉大学/産業技術総合研究所 (略称： 埼玉大/産総研) Saitama University/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： Saitama Univ./AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 剛 / Go Fujii / フジイ ゴウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浮辺 雅宏 / Masahiro Ukibe / ウキベ マサヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田井野 徹 / Tohru Taino / タイノ トオル |
| 第4著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-11-15 15:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2021-9 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.248 |
| ページ範囲 | pp.10-14 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2021-11-08 (SCE) |
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