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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-11-26 14:15 スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ ○岩田直也・柳谷隆彦（早大）  US2021-43 |
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| 抄録 | （和） | 医療用超音波診断装置には電気機械結合係数 k33 2 が大きい PZT (Pb(Zr, Ti)O3)セラミックや PMN-PT (Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3)単結晶が用いられている。電気機械結合係数 kt 2 で比べると、ScAlN は 20%程あり、PZT の 25%、PMN-PT の 36％に近い値である。医療用超音波では ScAlN のような非鉛材料が好ましい。そこで本研究では 0.3 mm の ScAlN 薄板を用いた 10 MHz 帯のトランスデューサを提案する。ScAlN 薄板は RF マグネトロンスパッタ 法によってエピタキシャル成長させた。(1011)X 線極点図で 6 回対称な極が観測され、エピタキシャル成長してい ることがわかる。また TEM によって ScAlN 厚膜の表面の電子回折像を観察した結果、スポットが明瞭に確認でき、 表面まで単結晶ライクに成長していた。さらに ScAlN 薄板の kt 2 は変換損失法および共振反共振法によってそれぞ れ 12.3%と 17.7%と見積もられた。 |
| （英） | PZT (Pb(Zr,Ti)O3) ceramics and PMN-PT (Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3) single crystals with large electromechanical coupling coefficient k33 2 are expensively used in medical ultrasonic transducers. The electromechanical coupling coefficient kt 2 of lead-free ScAlN is 18.5%, which is close to 25% for PZT and 36% for PMN-PT. Lead-free materials are preferable for medical ultrasound transducers. In this study, we propose the 10 MHz band transducer using a 0.3 mm ScAlN thin plate. The ScAlN thick film was epitaxially grown by RF magnetron sputtering. The (1011) pole figure of ScAlN shows six symmetrical poles, indicating epitaxial growth. The electron diffraction image of the surface of the ScAlN thick film was observed by TEM. The spots pattern shows single crystal like growth even at the surface. The kt 2 of the ScAlN thick film was estimated to be 12.3% and 12.9% by the conversion loss method and resonant spectrum method, respectively. |
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| キーワード | （和） | 超音波トランスデューサ / ScAlN薄板 / エピタキシャル成長 / / / / / |
| （英） | Ultrasonic transducer / ScAlN plate / Epitaxial growth / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 272, US2021-43, pp. 19-24, 2021年11月. | |
| 資料番号 | US2021-43 | |
| 発行日 | 2021-11-19 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2021-43 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2021-11-26 - 2021-11-26 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 超音波一般 |
| テーマ（英） | Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2021-11-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | 0.3 mm 10 MHz ScAlN thin plate ultrasonic transducer fabricated by sputtering growth |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超音波トランスデューサ / Ultrasonic transducer |
| キーワード(2)（和/英） | ScAlN薄板 / ScAlN plate |
| キーワード(3)（和/英） | エピタキシャル成長 / Epitaxial growth |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 直也 / Naoya Iwata / イワタ ナオヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanaigtani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-11-26 14:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2021-43 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.272 |
| ページ範囲 | pp.19-24 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-11-19 (US) |
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