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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-12-24 16:25 ［招待講演］物理蒸着によるフッ素系高分子薄膜形成と光学応用 ○臼井博明（東京農工大）  OME2021-34 |
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| 抄録 | （和） | フッ素系高分子薄膜は低屈折率，低誘電率，低損失，低表面エネルギーなど特徴的な物性を持つが，難溶性であることや環境負荷が大きいことなどから，従来法による製膜は容易でない．そこで物理蒸着法による無溶媒薄膜形成を試みた．電子アシスト蒸着法を用いてガラス表面に Teflon AF 膜を製膜すると，顕著な反射防止効果が得られた．一方，フッ化アルキルアクリレートモノマーを電子アシスト蒸着すると，反射防止機能を持つ重合膜を形成することができる．さらに，イオンアシスト蒸着法を用いてもフッ化アルキルアクリレートの重合膜を形成できた．製膜時のイオンエネルギーによって膜の表面エネルギーと屈折率を制御することが可能であり，膜厚方向に表面エネルギーと屈折率が連続的に変化する傾斜機能膜を作製することで，反射防止機能，膜の付着強度，表面防汚性の機能を併せ持ち，柔軟性にも優れた薄膜が得られた． |
| （英） | Fluoropolymers have such unique characteristics as low refractive index, low dielectric constant, low optical and dielectric loss, and low surface energy. However conventional coating of fluoropolymer is difficult owing to the poor solubility and high environmental loading. This review introduces unique film formation techniques for fluoropolymers by using physical vapor deposition methods. An electron-assisted deposition technique was used to prepare Teflon AF thin films, which had remarkable characteristic as optical anti-reflective coating. The electron-assisted deposition can also be used to obtain polymer thin films by depositing a fluoroacrylate monomer. The deposition-polymerization of fluoroacrylate was also possible by using an ion-assisted deposition method. With this technique, the refractive index and the surface energy of the films can be controlled by adjusting the ion energy. It was possible to prepare functionally graded films that can fulfill the contradictory requirements of low surface energy, strong film/substrate adhesion, and low optical reflection. | |
| キーワード | （和） | フッ素系高分子 / 物理蒸着 / 蒸着重合 / 反射防止 / 傾斜機能膜 / / / |
| （英） | Fluoropolymer / Physical Vapor Deposition / Deposition Polymerization / Anti-reflective Coating / Functionally Graded Film / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 313, OME2021-34, pp. 32-37, 2021年12月. | |
| 資料番号 | OME2021-34 | |
| 発行日 | 2021-12-17 (OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2021-34 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2021-12-24 - 2021-12-24 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 有機分子エレクトロニクス・フォトニクス、ポリマー光材料・デバイス、その他一般 |
| テーマ（英） | organic molecular electronics and photonics, polymer optical materials and devices, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2021-12-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 物理蒸着によるフッ素系高分子薄膜形成と光学応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of fluoropolymer thin films by physical vapor deposition for optical applications |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フッ素系高分子 / Fluoropolymer |
| キーワード(2)（和/英） | 物理蒸着 / Physical Vapor Deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 蒸着重合 / Deposition Polymerization |
| キーワード(4)（和/英） | 反射防止 / Anti-reflective Coating |
| キーワード(5)（和/英） | 傾斜機能膜 / Functionally Graded Film |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 臼井 博明 / Hiroaki Usui / ウスイ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. Agricul. & Technol.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-12-24 16:25:00 |
| 発表時間 | 40分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2021-34 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.313 |
| ページ範囲 | pp.32-37 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-12-17 (OME) |
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