お知らせ 2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ 技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ 電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW 参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2022-01-25 11:25
c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ
泉 航太柳谷隆彦早大US2021-59
抄録 (和) 弾性表面波(SAW)の送受波によって駆動するトランスバーサル型フィルタは振幅特性と位相特性の独立制御、フォトリソグラフィによる大量生産が可能などの特長から周波数フィルタとして用いられてきた。一方で、移動体端末用のRFフィルタにおいては、近年の耐電力性向上、高周波化の要求から、SAWを使った共振子型のラダー型フィルタは、バルク弾性波(BAW)共振子を使ったラダー型フィルタに置き換わっていっている。これまで、送受波一層ずつの圧電薄膜を使ったクリスタルフィルタは報告されているものの、BAWのトランスバーサル型フィルタの報告は見当たらない。これは分極反転層の形成が困難なためと推察される。本研究では、分極反転層を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタを提案する。BAWのトランスバーサル型フィルタは、IDTを使ったSAWデバイスよりも耐電力性の高く魅力的である。本報告では、圧電層と横波音響インピーダンスの近いZカット水晶基板の両面に、高い電気機械結合係数k35’を持つc軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を成長させ、トランスバーサルフィルタを作製した。これにより、擬似横波を基板表面から裏面に送受波することで、フィルタ特性を得ることに成功した。 
(英) Surface acoustic wave (SAW) transversal type filter is attractive because of their independent control of amplitude and phase responses. On the other hand, for the RF filter in the mobile phone, the resonator type SAW ladder filters are gradually replaced by the bulk acoustic wave (BAW) resonator type ladder filters due to their excellent power handling capability. Although the crystal filters based on one pair of the piezoelectric layer have been reported, there are no reports on BAW transversal type filter probably because of the difficulty of growth of polarization inversion layers. In this study, we propose the transversal type BAW filters based on the polarization inversion layers. The BAW transversal type filters expected to possess high power tolerance compared with SAW type filters with IDT electrode. c-Axis zig-zag tilted polarization inverted ScAlN multilayer were grown on both sides of Z-cut quartz substrate whose shear mode acoustic impedance is close to the ScAlN layer. As a result, by transmitting and receiving the bulk quasi-shear wave, BAW transversal type filters were obtained.
キーワード (和) トランスバーサルフィルタ / c軸傾斜配向ScAlN薄膜 / 圧電薄膜の多層化 / / / / /  
(英) Transversal filter / c-Axis tilted ScAlN film / Polarity inverted multilayer piezoelectric film / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 121, no. 348, US2021-59, pp. 5-10, 2022年1月.
資料番号 US2021-59 
発行日 2022-01-18 (US) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2021-59

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2022-01-25 - 2022-01-25 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 強力超音波,超音波一般 
テーマ(英) High-intensity ultrasound, Ultrasonics, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2022-01-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Transversal type BAW filter based on c-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayers 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) トランスバーサルフィルタ / Transversal filter  
キーワード(2)(和/英) c軸傾斜配向ScAlN薄膜 / c-Axis tilted ScAlN film  
キーワード(3)(和/英) 圧電薄膜の多層化 / Polarity inverted multilayer piezoelectric film  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 泉 航太 / Kota Izumi / イズミ コウタ
第1著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ
第2著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第3著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第4著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第5著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第6著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第7著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第8著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第9著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者 第1著者 
発表日時 2022-01-25 11:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2021-59 
巻番号(vol) vol.121 
号番号(no) no.348 
ページ範囲 pp.5-10 
ページ数
発行日 2022-01-18 (US) 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会