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講演抄録/キーワード
講演名 2022-04-21 09:50
室温原子層堆積法で作製したZnO-TFTの電気特性のアニール温度および雰囲気依存性
鬼澤尚也吉田一樹齋藤健太郎鹿又健作三浦正範廣瀬文彦山形大ED2022-2
抄録 (和) 近年では透明である金属酸化物ベースの薄膜トランジスタ(TFT)の技術開発が進められている。我々はナノ薄膜化された酸化物を紫外光やガスセンサーとして利用することを検討しており、そのプラットフォームとして酸化亜鉛によるTFTの試作を行った。本研究では酸化亜鉛を室温原子層堆積法で製膜を試みた。異なる温度で酸化亜鉛ナノチャネル層にアニール処理を加えTFTを作製し、大気中および真空中で測定を行うことで電気特性を評価した。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) 原子層堆積法 / 酸化亜鉛 ZnO / 薄膜トランジスタ / / / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 122, no. 7, ED2022-2, pp. 5-8, 2022年4月.
資料番号 ED2022-2 
発行日 2022-04-14 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2022-2

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2022-04-21 - 2022-04-21 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2022-04-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 室温原子層堆積法で作製したZnO-TFTの電気特性のアニール温度および雰囲気依存性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Influence of the thermal annealing temperature and atmosphere on channel conductance in the ZnO thin film transistor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 原子層堆積法 /  
キーワード(2)(和/英) 酸化亜鉛 ZnO /  
キーワード(3)(和/英) 薄膜トランジスタ /  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 鬼澤 尚也 / Naoya Onizawa / オニザワ ナオヤ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 一樹 / Kazuki Yoshida / ヨシダ カズキ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 齋藤 健太郎 / Kentarou Saitou / サイトウ ケンタロウ
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ
第5著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第6著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-04-21 09:50:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2022-2 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.7 
ページ範囲 pp.5-8 
ページ数
発行日 2022-04-14 (ED) 


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