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講演抄録/キーワード
講演名 2022-04-23 11:50
[招待講演]固相結晶化In2O3:Hによる薄膜トランジスタの高移動度化(>100 cm2V-1s-1)
曲 勇作島根大)・片岡大樹高知工科大)・葉 文昌島根大)・古田 守高知工科大SDM2022-13 OME2022-13
抄録 (和) 本研究では低温で固相結晶化した水素化多結晶酸化インジウム(In2O3:H)薄膜の金属から半導体への転移に成功し、酸化物半導体薄膜トランジスタ(TFT)にて多結晶シリコンを凌ぐ、世界最高の電界効果移動度139.2 cm2V-1s-1を実現した。具体的には、水素濃度を制御した多結晶In2O3:H 膜において、格子像が確認できる優れた結晶性を低温(~300℃)で実現しつつ、金属的伝導から半導体伝導にキャリア濃度を約3桁制御する手法を見いだし、高移動度酸化物半導体デバイス応用の可能性を拓いた。また、In2O3:Hは透明かつ低温合成可能であり、次世代ディスプレイや半導体メモリーの高性能・低電力化に加え、透明フレキシブルデバイスなどへの発展が期待できる。 
(英) (Not available yet)
キーワード (和) 酸化物半導体 / 薄膜トランジスタ / 固相結晶化 / 水素化 / 高移動度 / 低温プロセス / フレキシブルデバイス / 電子デバイス  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 122, no. 8, SDM2022-13, pp. 61-64, 2022年4月.
資料番号 SDM2022-13 
発行日 2022-04-15 (SDM, OME) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2022-13 OME2022-13

研究会情報
研究会 OME SDM  
開催期間 2022-04-22 - 2022-04-23 
開催地(和) 高千穂ホール(宮崎市) 
開催地(英) Takachiho Hall 
テーマ(和) 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 
テーマ(英) Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2022-04-OME-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 固相結晶化In2O3:Hによる薄膜トランジスタの高移動度化(>100 cm2V-1s-1) 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) High-mobility (>100 cm2V-1s-1) In2O3:H Thin-film Transistors by Solid-phase Crystallization 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 酸化物半導体 /  
キーワード(2)(和/英) 薄膜トランジスタ /  
キーワード(3)(和/英) 固相結晶化 /  
キーワード(4)(和/英) 水素化 /  
キーワード(5)(和/英) 高移動度 /  
キーワード(6)(和/英) 低温プロセス /  
キーワード(7)(和/英) フレキシブルデバイス /  
キーワード(8)(和/英) 電子デバイス /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 曲 勇作 / Yusaku Magari / マガリ ユウサク
第1著者 所属(和/英) 島根大学 (略称: 島根大)
Shimane University (略称: Shimane Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 片岡 大樹 / Taiki Kataoka / カタオカ タイキ
第2著者 所属(和/英) 高知工科大学 (略称: 高知工科大)
Kochi University of Technology (略称: Kochi Univ. of Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 葉 文昌 / Wenchang Yeh / ヨウ ブンショウ
第3著者 所属(和/英) 島根大学 (略称: 島根大)
Shimane University (略称: Shimane Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 古田 守 / Mamoru Furuta / フルタ マモル
第4著者 所属(和/英) 高知工科大学 (略称: 高知工科大)
Kochi University of Technology (略称: Kochi Univ. of Tech.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-04-23 11:50:00 
発表時間 50分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2022-13, OME2022-13 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.8(SDM), no.9(OME) 
ページ範囲 pp.61-64 
ページ数
発行日 2022-04-15 (SDM, OME) 


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