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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-05-27 17:05 多端子ホール素子によるオーミック金属下半導体の特性評価法 ○瓜生和也（北陸先端大/アドバンテスト研）・木内翔太（北陸先端大）・佐藤 拓（アドバンテスト研）・鈴木寿一（北陸先端大）  ED2022-15 CPM2022-9 SDM2022-22 |
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| 抄録 | （和） | 一般に, オーミック金属下半導体の電気的特性は, オーミックコンタクト形成前から変化している. これまでに, オーミック金属下における半導体のシート抵抗測定方法は知られていたが, シートキャリア密度および移動度を評価する手法はなかった. 我々は, オーミック金属下半導体のシート抵抗に加え, シートキャリア密度と移動度を評価する方法として, 多端子ホール素子を用いた手法を開発した. この手法をAlGaN/GaNヘテロ構造へ適用し, オーミック金属下の特性を明らかにした. |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | AlGaN/GaN / オーミックコンタクト / 多端子ホール測定 / / / / / |
| （英） | AlGaN/GaN / Ohmic contact / multi-probe Hall measurement / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 52, ED2022-15, pp. 35-38, 2022年5月. | |
| 資料番号 | ED2022-15 | |
| 発行日 | 2022-05-20 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2022-15 CPM2022-9 SDM2022-22 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED CPM |
| 開催期間 | 2022-05-27 - 2022-05-27 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | Functional Device Materials, Fabrication, Characterization, and Related Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2022-05-SDM-ED-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 多端子ホール素子によるオーミック金属下半導体の特性評価法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization method of semiconductors under Ohmic-metals by using multi-probe Hall devices |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlGaN/GaN / AlGaN/GaN |
| キーワード(2)（和/英） | オーミックコンタクト / Ohmic contact |
| キーワード(3)（和/英） | 多端子ホール測定 / multi-probe Hall measurement |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 瓜生 和也 / Kazuya Uryu / ウリュウ カズヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学/アドバンテスト研究所 (略称： 北陸先端大/アドバンテスト研) Japan Advanced Institute of Science and Technology/Advantest Laboratories Ltd. (略称： JAIST/ATL) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木内 翔太 / Shota Kiuchi / キウチ ショウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 拓 / Taku Sato / サトウ タク |
| 第3著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所 (略称： アドバンテスト研) Advantest Laboratories Ltd. (略称： ATL) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 寿一 / Toshi-kazu Suzuki / スズキ トシカズ |
| 第4著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-05-27 17:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2022-15, CPM2022-9, SDM2022-22 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.52(ED), no.53(CPM), no.54(SDM) |
| ページ範囲 | pp.35-38 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2022-05-20 (ED, CPM, SDM) |
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