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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-08-18 13:00 空洞共振器を用いた周波数ΔΣ変調方式位置センサとその応用 ○前澤宏一・森 雅之（富山大）  ED2022-18 |
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| 抄録 | （和） | 周波数ΔΣ変調方式は，電圧制御発振器による周波数変調を基盤としたアナログ-デジタル変換(ADC)方式であり，非常に大きなダイナミックレンジと広帯域特性を両立できる．この周波数ΔΣ方式のADCにおいて，外部物理量で周波数が変化する発振器を用いれば容易に高性能なデジタル出力センサを構成できる．ここでは，我々の検討している，空洞共振器を用いた周波数ΔΣ変調方式位置センサと，そのAFM/表面粗さ計やマイクロ波近接場顕微鏡への応用可能性について述べる． |
| （英） | A frequency delta-sigma modulation is an interesting variant of the delta-sigma modulation based on a voltage-controlled oscillator (VCO). The analog-digital converters (ADCs) based on this technique have a unique advantage of high dynamic range as well as wide frequency bandwidth. This can be applied to sensors, when the VCO is replaced by an oscillator whose oscillation frequency is dependent on an external physical quantity. This paper discusses the delta-sigma position/displacement sensors based on a cavity resonator oscillator, and their possible application to AFM/surface profiler, microwave near field microscopy. | |
| キーワード | （和） | ΔΣ変調 / 位置/変位センサ / AFM / 表面粗さ計 / / / / |
| （英） | delta-sigma modulation / position/displacement sensor / AFM / surface profiler / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 152, ED2022-18, pp. 5-8, 2022年8月. | |
| 資料番号 | ED2022-18 | |
| 発行日 | 2022-08-11 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2022-18 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED IEE-BMS IEE-MSS |
| 開催期間 | 2022-08-18 - 2022-08-18 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. B3-2 |
| テーマ（和） | センサ，MEMS，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2022-08-ED-BMS-MSS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 空洞共振器を用いた周波数ΔΣ変調方式位置センサとその応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Frequency Delta-Sigma Modulation Position Sensors using a Cavity Resonator and Their Possible Applications |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ΔΣ変調 / delta-sigma modulation |
| キーワード(2)（和/英） | 位置/変位センサ / position/displacement sensor |
| キーワード(3)（和/英） | AFM / AFM |
| キーワード(4)（和/英） | 表面粗さ計 / surface profiler |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前澤 宏一 / Koichi Maezawa / マエザワ コウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 雅之 / Masayuki Mori / モリ マサユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-08-18 13:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2022-18 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.152 |
| ページ範囲 | pp.5-8 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2022-08-11 (ED) |
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