講演抄録/キーワード |
講演名 |
2022-10-12 10:00
CapsNetを用いた高解像度ウェハマップの欠陥パターン分類法に関する考察 ○山中祐輝・永村美一(都立大)・新井雅之(日大)・福本 聡(都立大) CPSY2022-22 DC2022-22 |
抄録 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 205, DC2022-22, pp. 26-30, 2022年10月. |
資料番号 |
DC2022-22 |
発行日 |
2022-10-04 (CPSY, DC) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
CPSY2022-22 DC2022-22 |
研究会情報 |
研究会 |
CPSY DC IPSJ-ARC |
開催期間 |
2022-10-11 - 2022-10-12 |
開催地(和) |
湯沢東映ホテル |
開催地(英) |
Yuzawa Toei Hotel |
テーマ(和) |
HotSPA2022: アーキテクチャ, コンピュータシステム, ディペンダブルコンピューティング および一般 |
テーマ(英) |
System Architecture, Computer Systems, Dependable Computing, etc. |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
DC |
会議コード |
2022-10-CPSY-DC-ARC |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
CapsNetを用いた高解像度ウェハマップの欠陥パターン分類法に関する考察 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
A Study on Hi-Resolution Wafer Map Defect Pattern Classification Using CapsNet |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山中 祐輝 / Yuki Yamanaka / ヤマナカ ユウキ |
第1著者 所属(和/英) |
東京都立大学 (略称: 都立大)
Tokyo Metropolitan University (略称: Tokyo Metropolitan Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
永村 美一 / Yoshikazu Nagamura / ナガムラ ヨシカズ |
第2著者 所属(和/英) |
東京都立大学 (略称: 都立大)
Tokyo Metropolitan University (略称: Tokyo Metropolitan Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
新井 雅之 / Masayuki Arai / アライ マサユキ |
第3著者 所属(和/英) |
日本大学 (略称: 日大)
Nhon University (略称: Nihon Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
福本 聡 / Satoshi Hukumoto / フクモト サトシ |
第4著者 所属(和/英) |
東京都立大学 (略称: 都立大)
Tokyo Metropolitan University (略称: Tokyo Metropolitan Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2022-10-12 10:00:00 |
発表時間 |
30分 |
申込先研究会 |
DC |
資料番号 |
CPSY2022-22, DC2022-22 |
巻番号(vol) |
vol.122 |
号番号(no) |
no.204(CPSY), no.205(DC) |
ページ範囲 |
pp.26-30 |
ページ数 |
5 |
発行日 |
2022-10-04 (CPSY, DC) |
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