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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-10-20 16:35 ハイメサセンシング導波路と集積したナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタ ○嶋村雄太・桒畑亮太・山内健生・キム ユンジン（九大）・田部井哲夫（広島大）・姜 海松・浜本貴一（九大）  OCS2022-24 OPE2022-70 LQE2022-33 |
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| 抄録 | （和） | 光集積回路を用いた小型呼気センシングシステムの研究開発を進めている。特にppmオーダーと微量の呼気中病気マーカー検出のためのセンサーの高感度にはセンシング導波路実効光路長の長路化が重要で、非対称分岐素子を集積した多重光ループ構成をこれまでに検討してきている。また所望の分岐比で非対称分岐を実現する光回路設計技術として、我々はこれまでにナノピクセルを用いた非対称分岐導波路を提案してきているが、センシング導波路との一括集積を実現しようとすると、100 nm以下の超微細加工と、1 µm程度の高アスペクト比加工とを両立して実現させる必要があり、その製作方法には課題があった。 そこで今回、ハイメサセンシング導波路とナノピクセル非対称分岐導波路との一括集積技術を検討した。その結果、SiO2に対して比較的高い選択比でのエッチングにより、呼気をセンシングハイメサ導波路とナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタの一括形成に成功した。また試作素子の分岐特性について、その基本特性を確認したので報告する。 |
| （英） | Compact breath sensing system using optical integrated circuits have been researched for daily heath-check. In particular, a long effective optical path length of the sensing waveguide is important for the high sensitivity for the detection of disease markers in exhaled breath of ppm-order or lower. We have also proposed an asymmetric power-splitter waveguide using nano-pixels, however, the fabrication method has been a challenge because it is necessary to achieve both ultrafine processing of around 100 nm scale and deep dry-etching for high-mesa sensing waveguide which requires around 1 µm. In this paper, we investigated an integration process of high-mesa sensing waveguide and nano-pixel asymmetric power-splitter . As a result, we have successfully realized high-mesa waveguide and an asymmetric power splitter integration by 2-step dry-etching. |
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| キーワード | （和） | 光集積回路 / ハイメサ導波路 / パワースプリッタ / ナノピクセル / ドライエッチング / / / |
| （英） | PICs / High-mesa waveguide / Power splitter / Nano-pixel / Dry-etching / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 217, OPE2022-70, pp. 40-44, 2022年10月. | |
| 資料番号 | OPE2022-70 | |
| 発行日 | 2022-10-13 (OCS, OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OCS2022-24 OPE2022-70 LQE2022-33 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE OCS LQE |
| 開催期間 | 2022-10-20 - 2022-10-21 |
| 開催地（和） | 松山市民会館 小ホール |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 超高速伝送・変復調・分散補償技術，超高速光信号処理技術，広帯域光増幅・WDM技術，受光デバイス，高光出力伝送技術，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2022-10-OPE-OCS-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ハイメサセンシング導波路と集積したナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Asymmetric Power Splitter by Using Nano-Pixel Integrated with Sensing High-Mesa Waveguide |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光集積回路 / PICs |
| キーワード(2)（和/英） | ハイメサ導波路 / High-mesa waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | パワースプリッタ / Power splitter |
| キーワード(4)（和/英） | ナノピクセル / Nano-pixel |
| キーワード(5)（和/英） | ドライエッチング / Dry-etching |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 嶋村 雄太 / Yuta Shimamura / シマムラ ユウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 桒畑 亮太 / Ryota Kuwahata / クワハタ リョウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山内 健生 / Kensei Yamauchi / ヤマウチ ケンセイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | キム ユンジン / Yunjin Kim / キム ユンジン |
| 第4著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田部井 哲夫 / Tetsuo Tabei / タベイ 哲夫 |
| 第5著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 姜 海松 / Haisong Jiang / キョウ カイショウ |
| 第6著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浜本 貴一 / Kiichi Hamamoto / ハマモト キイチ |
| 第7著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-10-20 16:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OCS2022-24, OPE2022-70, LQE2022-33 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.216(OCS), no.217(OPE), no.218(LQE) |
| ページ範囲 | pp.40-44 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-10-13 (OCS, OPE, LQE) |
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