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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-11-11 10:30 ［招待講演］自己加熱制御用の金属酸化物材料分子センサのコンパクトモデル実装 ○椎木陽介（慶大）・長田紳太郎・高橋綱己・柳田 剛（東大）・石黒仁揮（慶大）  SDM2022-72 |
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| 抄録 | （和） | 金属酸化物材料を使用した分子センサは一般に外部加熱を利用しているがセンサ以外の基盤等にも熱が逃げてしまうため大きな電力消費が発生してしまう．一方でセンサ自体の自己加熱を利用できれば，加熱範囲がセンシング部に集中され，mWオーダーまで加熱電力が低減可能である．さらにセンサ温度を制御することで分子選択性を変化させることも可能である．自己加熱センサのコンパクトモデルを作成することは，最適なセンサ制御回路設計や，センサデータ処理の実装にとって有益となる．本研究では実際に自己加熱センサを作製し，そのコンパクトモデルの提案，実装を行った．作成したセンサデバイスの実験結果をもとにパラメータフィッティングを行い，比較検討を行った． |
| （英） | Metal oxide molecule sensor has notable advantages of low-cost fabrication and integration. However, the molecule sensor requires high temperature to cause chemical reaction with surrounding molecules, so that an external heater is required and around 1 W or higher power is consumed. One solution to decrease power consumption is using a self-heated sensor. Since the heating area is limited in the sensor itself, mW-order operation can be realized. Besides, it is also possible that selectivity of target molecule is controlled by changing sensor temperature. Creation of the compact model is beneficial to minimize total power consumption and to implementation of sensory data processing. Self-heated resistive molecule sensor was developed and compact model was proposed. After parameters are determined, simulated resistance was compared with experimentally measured resistance. | |
| キーワード | （和） | コンパクトモデル / 分子センサ / 回路シミュレーション / / / / / |
| （英） | compact model / molecule sensor / circuit simulation / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 247, SDM2022-72, pp. 40-43, 2022年11月. | |
| 資料番号 | SDM2022-72 | |
| 発行日 | 2022-11-03 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2022-72 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2022-11-10 - 2022-11-11 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2022-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 自己加熱制御用の金属酸化物材料分子センサのコンパクトモデル実装 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Implementation of Compact Model of a Metal Oxide Molecule Sensor for Self-Heating Control |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | コンパクトモデル / compact model |
| キーワード(2)（和/英） | 分子センサ / molecule sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 回路シミュレーション / circuit simulation |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 椎木 陽介 / Yohsuke Shiiki / シイキ ヨウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 慶應義塾大学 (略称： 慶大) Keio University (略称： Keio Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長田 紳太郎 / Shintaro Nagata / ナガタ シンタロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. Tokyo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高橋 綱己 / Tsunaki Takahashi / タカハシ ツナキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. Tokyo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳田 剛 / Takeshi Yanagida / ヤナギダ タケシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. Tokyo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石黒 仁揮 / Hiroki Ishikuro / イシクロ ヒロキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 慶應義塾大学 (略称： 慶大) Keio University (略称： Keio Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-11-11 10:30:00 |
| 発表時間 | 60分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2022-72 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.247 |
| ページ範囲 | pp.40-43 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2022-11-03 (SDM) |
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