講演抄録/キーワード |
講演名 |
2022-12-22 16:50
[ポスター講演]SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定 ○近藤圭太・石井直輝・鈴木基嗣(早大)・柳谷隆彦(早大/JST) US2022-65 |
抄録 |
(和) |
一般的に音響ブラッグ反射器の特性評価には、ブラッグ反射層上に圧電薄膜を形成したSMR構造におけるインピーダンス特性が用いられる。しかしこの場合、圧電層の特性とブラッグ反射器単体の特性を分離して評価するのは困難である。本研究では、SiO2層を遅延層として用いて、超音波パルスエコー法によりブラッグ反射器単体における縦波・横波それぞれの機械的通過特性を評価した。測定したブラック反射器の機械的通過特性と機械回路から算出した理論値と比較した結果、よく一致し本手法の妥当性が確かめられた。 |
(英) |
Experimental data of the sole Bragg reflector is difficult to be measured. This is because the property of a piezoelectric layer on Bragg reflector and that of the sole Bragg reflector is measured simultaneously in the standard impedance measurement. In this study, the method to evaluate the acoustic transmission loss for longitudinal wave and shear wave of the sole Bragg reflector by using pulse echo technique with SiO2 delay line is proposed. |
キーワード |
(和) |
音響多層膜共振子 / ブラッグ反射器 / パルスエコー法 / c軸傾斜配向ScAlN薄膜 / / / / |
(英) |
SMR / Bragg reflector / pulse echo technique / c-Axis tilted ScAlN film / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 323, US2022-65, pp. 80-85, 2022年12月. |
資料番号 |
US2022-65 |
発行日 |
2022-12-15 (US) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2022-65 |