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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-01-27 15:15 ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果 ○田中京輔・奈良俊宏・矢ヶ崎 司・伊藤里樹・光野徹也・小南裕子・原 和彦（静岡大）  EID2022-7 |
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| 抄録 | （和） | 原料に酢酸化物を用いるミストCVD法により，a面サファイア基板上に， (Zn,Mg)O混晶中にZnOナノ粒子を分散させた薄膜を成長させた．成長した後，薄膜中およびナノ粒子の内部および周囲の欠陥を除去する目的で，アニール処理を行った．成長温度を650 ℃，および原料溶液中のMg原料モル比を30 %で成長させた試料では，850 ℃でのアニールにより(Zn,Mg)Oのバンド端発光およびナノ粒子由来の発光を増大させることができた． |
| （英） | ZnO nanoparticles dispersed (Zn,Mg)O thin films, were grown on an a-plane sapphire substrate by a mist CVD method using acetate compounds as source materials. After growth, annealing was performed to remove defects in and around the nanoparticles incorperated in the thin film. For samples grown at a growth temperature of 650 ℃ and a Mg source concentration of 30 % in the source solution, the annealing treatment at 850 ℃ enhanced the band-edge emissions oboth from a (Zn,Mg)O thin film and ZnO nanoparticles. | |
| キーワード | （和） | ミストCVD / (Zn,Mg)O / 薄膜成長 / / / / / |
| （英） | mist CVD / (Zn,Mg)O / thin films growth / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 366, EID2022-7, pp. 13-16, 2023年1月. | |
| 資料番号 | EID2022-7 | |
| 発行日 | 2023-01-19 (EID) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EID2022-7 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ITE-IDY IEIJ-SSL EID SID-JC IEE-EDD |
| 開催期間 | 2023-01-26 - 2023-01-27 |
| 開催地（和） | オンライン開催 (Webex) |
| 開催地（英） | Online (Zoom) |
| テーマ（和） | 発光型／非発光型ディスプレイ合同研究会 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EID |
| 会議コード | 2023-01-IDY-SSL-EID-JC-EDD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The effect of annealing on nanoparticle-dispersed (Zn,Mg)O thin films fabricated by mist CVD |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミストCVD / mist CVD |
| キーワード(2)（和/英） | (Zn,Mg)O / (Zn,Mg)O |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜成長 / thin films growth |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 京輔 / Kyosuke Tanaka / タナカ キョウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奈良 俊宏 / Toshihiro Nara / ナラ トシヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢ヶ崎 司 / Tsukasa Yagasaki / ヤガサキ ツカサ |
| 第3著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊藤 里樹 / Riki Ito / イトウ リキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 光野 徹也 / Tetsuya Kouno / コウノ テツヤ |
| 第5著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小南 裕子 / Hiroko Kominami / コミナミ ヒロコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原 和彦 / Kazuhiko Hara / ハラ カズヒコ |
| 第7著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-01-27 15:15:00 |
| 発表時間 | 10分 |
| 申込先研究会 | EID |
| 資料番号 | EID2022-7 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.366 |
| ページ範囲 | pp.13-16 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-01-19 (EID) |
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