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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-04-10 11:25 12-nm FinFETおよび28-nm プレナー型SRAMのミューオン起因ソフトエラー断面積の評価 ○五味唯美・高見一総（京大）・水野るり惠（東大）・新倉 潤（理研）・Yifan DENG・川瀬頒一郎・渡辺幸信（九大）・安部晋一郎（原子力機構）・廖 望（東大）・反保元伸・梅垣いづみ・竹下聡史・下村浩一郎・三宅康博（高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター）・橋本昌宜（京大）  ICD2023-3 |
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| 抄録 | （和） | 半導体プロセス微細化に伴い，ミューオン起因ソフトエラーの影響増加が示唆されている．しかし，MOSFETの構造変化によるソフトエラー断面積評価が行われていない．そのためJ-PARCセンターのミュオン科学実験施設にて，12-nm FinFET SRAMおよび28-nm バルクプレナー型SRAMへのミューオン照射実験を行い，エラー断面積の評価を行った．本報告では得られた実験結果を報告する． |
| （英） | ||
| キーワード | （和） | ソフトエラー / Static Random Access Memory（SRAM） / ミューオン / FinFET / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 1, ICD2023-3, pp. 8-8, 2023年4月. | |
| 資料番号 | ICD2023-3 | |
| 発行日 | 2023-04-03 (ICD) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2023-3 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
| 開催期間 | 2023-04-10 - 2023-04-11 |
| 開催地（和） | 川崎市産業振興会館10階第４会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | メモリ技術と集積回路技術一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2023-04-ICD |
| 本文の言語 | 日本語（英語タイトルなし） |
| タイトル（和） | 12-nm FinFETおよび28-nm プレナー型SRAMのミューオン起因ソフトエラー断面積の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ソフトエラー / |
| キーワード(2)（和/英） | Static Random Access Memory（SRAM） / |
| キーワード(3)（和/英） | ミューオン / |
| キーワード(4)（和/英） | FinFET / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 五味 唯美 / / ゴミ ユイビ |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) (略称： ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高見 一総 / / |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) (略称： ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水野 るり惠 / / |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) (略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新倉 潤 / / |
| 第4著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) (略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | Yifan DENG / / |
| 第5著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川瀬 頒一郎 / / |
| 第6著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡辺 幸信 / / |
| 第7著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) (略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安部 晋一郎 / / |
| 第8著者 所属（和/英） | 国立研究開発法人 日本原子力研究機構 (略称： 原子力機構) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廖 望 / / |
| 第9著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 反保 元伸 / / |
| 第10著者 所属（和/英） | 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター (略称： 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅垣 いづみ / / |
| 第11著者 所属（和/英） | 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター (略称： 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹下 聡史 / / |
| 第12著者 所属（和/英） | 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター (略称： 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下村 浩一郎 / / |
| 第13著者 所属（和/英） | 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター (略称： 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三宅 康博 / / |
| 第14著者 所属（和/英） | 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター (略称： 高エネルギー加速器研究機構/J-PARCセンター) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋本 昌宜 / / |
| 第15著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-04-10 11:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2023-3 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.1 |
| ページ範囲 | p.8 |
| ページ数 | 1 |
| 発行日 | 2023-04-03 (ICD) |
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