講演抄録/キーワード |
講演名 |
2023-06-15 14:40
CNNを用いた測長SEMの機差要因解析手法の開発 ○棚橋直哉・高田晋太郎(日立) R2023-8 |
抄録 |
(和) |
近年半導体プロセスが微細化し,複数の測長SEM同士の計測値差(機差)をサブナノメートル単位に収めることが求められている.機差発生時には機差低減のために要因の特定が必要だが,装置の稼働率減少による生産性低下を防ぐため,より迅速な機差要因解析手法が求められている.本研究では機差要因解析の効率化を目的に,畳み込みニューラルネットワーク(CNN)を用いて,装置状態を表す5種の電子光学パラメータを対象に,機差要因を推定する手法を開発した.疑似的に機差を発生させた240件のデータに適用した結果,正答率94.2%で模擬した機差要因を判定可能であることを確認し,実現性の目途がたった. |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
測長SEM / 要因解析 / 装置間機差マッチング管理 / 機械学習 / CNN / / / |
(英) |
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文献情報 |
信学技報, vol. 123, no. 78, R2023-8, pp. 7-11, 2023年6月. |
資料番号 |
R2023-8 |
発行日 |
2023-06-08 (R) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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R2023-8 |