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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-08-18 14:00 ガス種により異なるMEMS半導体ガスセンサの過渡特性に及ぼす湿度の影響 ○東 国広・吉河武文・大倉裕貴・岩田達哉（富山県立大）  ED2023-10 |
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| 抄録 | （和） | 本研究では，温度変調を半導体ガスセンサに与えた場合における湿度を考慮したにおい識別精度向上に向け，過渡特性に及ぼす湿度の影響に関する知見を得るため，様々な湿度条件下で水への溶けやすさが異なるガス種をMEMS半導体ガスセンサに暴露させ，センサ応答の過渡特性を測定・評価した．フィッティングによる解析を行った結果，過渡特性に対する湿度の影響を考えた場合において，検出対象とするガスと水分子が水和している可能性について新たに考慮すべきということが示唆された，これは今まであまり注目されていなかったことであり，過渡特性に及ぼす湿度の影響についての新たな知見であるといえる． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | MEMS半導体ガスセンサ / 過渡特性 / 湿度 / ガス種 / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 155, ED2023-10, pp. 1-5, 2023年8月. | |
| 資料番号 | ED2023-10 | |
| 発行日 | 2023-08-11 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2023-10 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED IEE-BMS IEE-MSS |
| 開催期間 | 2023-08-18 - 2023-08-18 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | センサ，MEMS，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2023-08-ED-BMS-MSS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ガス種により異なるMEMS半導体ガスセンサの過渡特性に及ぼす湿度の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Influence of Humidity on the Transient Characteristics of MEMS Semiconductor Gas Sensors Varying with Gas Species |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS半導体ガスセンサ / |
| キーワード(2)（和/英） | 過渡特性 / |
| キーワード(3)（和/英） | 湿度 / |
| キーワード(4)（和/英） | ガス種 / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 東 国広 / Kunihiro Azuma / アズマ クニヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富山県立大学 (略称： 富山県立大) Toyama Prefectural University (略称： Toyama Prefectural Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉河 武文 / Takefumi Yoshikawa / ヨシカワ タケフミ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富山県立大学 (略称： 富山県立大) Toyama Prefectural University (略称： Toyama Prefectural Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大倉 裕貴 / Yuki Okura / オオクラ ユウキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 富山県立大学 (略称： 富山県立大) Toyama Prefectural University (略称： Toyama Prefectural Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 達哉 / Tatsuya Iwata / イワタ タツヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 富山県立大学 (略称： 富山県立大) Toyama Prefectural University (略称： Toyama Prefectural Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-08-18 14:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2023-10 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.155 |
| ページ範囲 | pp.1-5 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2023-08-11 (ED) |
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