| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2023-10-10 15:35
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造
○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
| 抄録 |
（和） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィルタが多数搭載されている。5G以降の高周波帯においては、ひっ迫したバンド同士の混線を防ぐため、急峻な周波数フィルタが求められる。高周波フィルタには電気エネルギーと機械エネルギーを変換する圧電素子を利用しており、圧電体から発生する超音波を送受波することで、温度安定性が高く急峻なフィルタ機能が実現する。さらに、圧電体を薄膜化し電極で挟み込んだ構造にすることで、共振子の固有振動数に応じた高周波帯で駆動するフィルタ (BAWフィルタ)が実現する。本研究では、スパッタ法によるエピタキシャル成長技術を用いることで、GHz帯向けの低損失な圧電薄膜BAW共振子の実現を目指す。 |
| （英） |
Wireless communication devices such as smartphones are equipped with many frequency filters to transmit and receive only the necessary frequencies from multiple radio frequencies. 5G and later high-frequency bands require sharp frequency filters to prevent interference between neighboring radio frequency bands. High-frequency filters utilize piezoelectric elements that convert electrical energy and mechanical energy. Higher sharpness and temperature stability can be achieved by transmitting and receiving ultrasonic waves generated by the piezoelectric material. Furthermore, the structure in which the piezoelectric material is thinned and sandwiched between electrodes enables a filter that is available in frequency bands corresponding to the resonance frequency (called BAW filter). In this research, we aim to realize a low-loss piezoelectric thin film BAW resonator for the GHz band by using epitaxial growth technique by sputtering deposition. |
| キーワード |
（和） |
RFフィルタ / 圧電薄膜 / エピタキシャル成長 / スパッタ法 / / / / |
| （英） |
RF filter / Piezoelectric thin films / Epitaxial growth / Sputtering deposition / / / / |
| 文献情報 |
信学技報 |
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